? 產(chǎn)品介紹
澤攸科技JS系列臺階儀作為國產(chǎn)高精度表面測量設(shè)備的代表，憑借其創(chuàng)新的技術(shù)架構(gòu)、靈活的應(yīng)用場景及可靠的測量性能，可以對微納結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和臺階高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量，在高校、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機(jī)電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。
JS系列臺階儀通過金剛石探針與樣品表面的接觸掃描，將微觀輪廓的垂直位移轉(zhuǎn)化為電信號，結(jié)合高靈敏度傳感器與信號處理算法，實(shí)現(xiàn)納米級精度的表面特征捕捉。其核心技術(shù)亮點(diǎn)在于超微壓力恒定控制系統(tǒng)，通過精密調(diào)節(jié)探針與樣品間的接觸壓力，既避免了對軟質(zhì)材料的損傷，又確保了測量過程的穩(wěn)定性。此外，設(shè)備搭載的攝像頭實(shí)時成像系統(tǒng)，可同步觀察樣品區(qū)域與探針尖端的位置關(guān)系，輔助用戶精確定位特征結(jié)構(gòu)，顯著提升測量效率。
作為國產(chǎn)科學(xué)儀器的突破性成果，JS系列臺階儀打破了國外品牌在高端表面測量設(shè)備領(lǐng)域的長期壟斷，憑借高性價比與本地化服務(wù)優(yōu)勢，成為國內(nèi)高校、科研機(jī)構(gòu)及制造企業(yè)的優(yōu)選設(shè)備。
? 特點(diǎn)
量測精確、功能豐富、一體式集成、模塊化設(shè)計(jì)、售后便捷、極高性價比
? 應(yīng)用范圍
▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量
▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測量
▲ 各式薄膜等應(yīng)力測量
▲ 3D掃描成像
▲ 計(jì)劃任務(wù)和多點(diǎn)掃描
▲ 批量測試晶圓，批量處理數(shù)據(jù)等
? 技術(shù)參數(shù)
關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo) | 指標(biāo)要求 |
臺階高度最大范圍 | 160um |
臺階高度重復(fù)性 | ≤0.5nm |
探針加力范圍 | 0.5mg~50mg |
單次掃描長度 | ≤55mm |
晶圓尺寸 | 可兼容6寸、8寸Wafer |
晶圓厚度 | ≤50mm |
晶圓材質(zhì) | 硅、鉭酸鋰、玻璃等（不透明，半透明，透明） |
圖像識別系統(tǒng)精度 | 定位精度優(yōu)于±10um |
機(jī)械動作穩(wěn)定性 | 馬拉松傳送測試>500片 |
生產(chǎn)效率 | WPH≥10片（單面量測>=5個位置） |
? 軟件界面
? 掃描圖
18nm樣品
68um樣品
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