一、核心功能與應(yīng)用場景

半導(dǎo)體超聲波清洗機(jī)是利用高頻超聲波（20kHz-1MHz）的空化效應(yīng)，通過液體中微射流和沖擊波的作用，高效剝離晶圓表面的顆粒、有機(jī)物、金屬污染及微小結(jié)構(gòu)內(nèi)的殘留物。廣泛應(yīng)用于：

• 光刻工藝后清洗：去除光刻膠殘留及顯影液副產(chǎn)物。
• 刻蝕后清潔：清除蝕刻副產(chǎn)物及側(cè)壁顆粒。
• 先進(jìn)封裝：TSV（硅通孔）、Bumping（凸點(diǎn)）等3D結(jié)構(gòu)的窄縫污染物清除。
• CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）后處理：去除磨料顆粒及表面劃痕。

二、突出技術(shù)特點(diǎn)

1. 高能效超聲波技術(shù)

• 多頻段可調(diào)：支持28kHz、40kHz、1MHz等頻段，精準(zhǔn)匹配不同污染物尺寸（如1MHz針對亞微米顆粒）。
• 均勻聲場分布：通過底部或側(cè)向換能器陣列設(shè)計，實(shí)現(xiàn)晶圓表面能量密度均一化（±5%偏差），避免局部過洗或殘留。
• 空化效應(yīng)優(yōu)化：納米級氣泡破裂產(chǎn)生微射流，剝離力可達(dá)0.1-10N/μm2，適用于頑固污染物（如光刻膠碎片、硅屑）。

2. 化學(xué)液兼容性與閉環(huán)控制

• 多溶劑適配：支持DIW（去離子水）、IPA（異丙醇）、氫氟酸（DHF）、臭氧水等清洗介質(zhì)，可定制耐腐蝕槽體（如PFA、PTFE材質(zhì)）。
• 溫度與濃度實(shí)時監(jiān)控：集成在線傳感器（如電導(dǎo)率、pH計、溫控模塊），確?；瘜W(xué)液參數(shù)穩(wěn)定（溫度±0.3℃、濃度±0.5%）。
• 超純水兼容：支持18.2MΩ·cm超純水清洗，避免微量元素二次污染。

3. 低損傷與高潔凈度

• 非接觸式清洗：無機(jī)械摩擦，避免劃傷晶圓表面（尤其對薄柵極或高深寬比結(jié)構(gòu)友好）。
• 顆粒去除能力：可清除＞0.1μm顆粒，潔凈度提升至＜5顆/cm2（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)G1-G5）。
• 金屬污染控制：配合化學(xué)液可去除Fe、Cu、Al等金屬離子至＜0.01ppb。

4. 智能化與自動化設(shè)計

• IoT遠(yuǎn)程監(jiān)控：支持PC端或移動端實(shí)時查看清洗參數(shù)（如超聲功率、液位、時間），并遠(yuǎn)程調(diào)整程序。
• 工藝配方存儲：內(nèi)置多組預(yù)設(shè)配方（如RCA清洗、SC1/SC2流程），支持用戶自定義參數(shù)并加密保存。
• 數(shù)據(jù)追溯系統(tǒng)：自動記錄每批次清洗的超聲頻率、溫度、時間等數(shù)據(jù)，生成可視化報告（如SPC圖表）。

5. 模塊化與節(jié)能環(huán)保

• 模塊化槽體：可根據(jù)需求選配單槽、多槽聯(lián)動或與濕法/干法設(shè)備組合（如超聲波+兆聲波復(fù)合清洗）。
• 節(jié)能設(shè)計：超聲波發(fā)生器效率＞90%，待機(jī)功耗＜10W；化學(xué)液循環(huán)過濾系統(tǒng)減少耗材消耗（如DIW回收率＞80%）。
• 廢液處理：內(nèi)置分離裝置（如過濾精度0.1μm），降低危廢處理成本。

三、技術(shù)參數(shù)示例

四、優(yōu)勢總結(jié)

• 精準(zhǔn)高效：針對亞微米顆粒及復(fù)雜結(jié)構(gòu)污染物，清洗效率比傳統(tǒng)濕法提升30%以上。
• 安全無損：非接觸式清洗避免劃傷，適用于先進(jìn)制程（如3nm以下節(jié)點(diǎn)）的敏感結(jié)構(gòu)。
• 靈活定制：支持頻段、槽體數(shù)量、自動化等級的個性化配置，滿足研發(fā)與量產(chǎn)需求。
• 綠色節(jié)能：化學(xué)液用量減少20%-50%，廢液處理成本降低30%，符合ISO 14001標(biāo)準(zhǔn)。

典型應(yīng)用案例：

• EUV光刻后清洗：1MHz超聲波+臭氧水去除多層光刻膠殘留。
• TSV硅通孔清潔：40kHz超聲波配合DHF溶液，清除孔內(nèi)顆粒及氧化層。
• HBM內(nèi)存封裝：多頻超聲波聯(lián)用，解決Bumping凸點(diǎn)間隙污染物難題。