光刻機的工作臺是一個六自由度的運動臺，其中X/Y向運動臺是的核心基礎(chǔ)工序。管控XY軸角度Yaw和Pitch，直線度Horizontal Straightness和Vertical Straightness是獲得XY線性（重復）精度（Linear Positioning）的關(guān)鍵，是后續(xù)實現(xiàn)六自由度的控制的基石，是多層曝光對準精度的源頭。
SJ6000激光干涉儀檢測一臺光刻機XY軸的角擺和直線度：
Y軸測量軸長600mm，測得角度Yaw結(jié)果0.86″。
X軸測量軸長225mm，其中垂直直線度測得結(jié)果0.58μm。
SJ6000光刻機定位雙頻激光干涉儀可以準確的進行誤差測量和補償。任何機床加工設(shè)備，在長時間的使用都會由于自身磨損或者其它一些原因造成加工超差的發(fā)生。一般出現(xiàn)這種情況時，就需要使用激光干涉儀進行精度的再校準，SJ6000激光干涉儀可同時測量出機床的螺距誤差值和反向間隙（又稱背隙），通過精度再校準，加工精度會大大提高。
測量軟件
1.友好的人機界面；
2.豐富的應(yīng)用功能模塊；
3.向?qū)降牟僮髁鞒蹋?br>4.簡潔化的記錄管理；
5.支持中文、英文和俄文界面；
6.支持企業(yè)專屬模板定制。
7.內(nèi)置13份標準，包含GB、ISO、英標、美標、德標、日標等國內(nèi)外通用標準?？梢罁?jù)各種不同的機床標準分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。
激光的高方向性、高相干性和高單色性特點，使其具有普通光源所沒有的優(yōu)勢。以激光干涉技術(shù)為核心，SJ6000光刻機定位雙頻激光干涉儀機床精度測試的分辨率可達納米級。采用的激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，并且干涉鏡與主機分離設(shè)計，避免了干涉鏡受熱影響，保證了干涉光路穩(wěn)定可靠。
