中圖儀器的SuperViewW1白光干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差就改變一個波長所以干涉儀是以廣播波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所無法比擬的。
在測量過程中，SuperViewW1白光干涉儀在垂直光軸方向，*快1秒內(nèi)，做一次縱向掃描；在掃描過程中，攝像頭和計算機系統(tǒng)對干涉條紋變化進行采樣和分析，從而以埃級縱向分辨率，構建出視場范圍內(nèi)，包括幾百萬像素的數(shù)據(jù)3D形貌地圖。基于干涉原理，縱向分辨率與放大倍率無關，在低倍率大視場范圍內(nèi)，也可以實現(xiàn)埃級分辨率，以非接觸3D方式檢測和表征樣品表面，不會有損傷樣品表面的風險，其3D檢測模式效率也很高。
白光干涉儀技術參數(shù)
產(chǎn)品特點
1、非接觸式測量：避免物件受損。
2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-10mm。
3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達到0.1nm。
5、高速數(shù)字信號處理器：實現(xiàn)測量僅需要幾秒鐘。
6、掃描儀：采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。
8、測量軟件：基于windows操作系統(tǒng)的用戶界面，強大而快速的運算。
3D形貌地圖配合色譜圖，非常直觀，但橫向測試范圍，縱向高度尺度也很關鍵。在超精密加工中，3D AOI（自動光學檢測）是對傳統(tǒng)精密加工上的升級，彌補了傳統(tǒng) AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷，改進設備性能以滿足各大電子廠對質量和產(chǎn)品能得雙重要求。拋開光學三維圖像尺寸測量儀價格實惠不說，基于白光干涉原理而研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1白光干涉儀能以非接觸的方式，無損檢測精密機械加工表面，檢測結果以3D數(shù)據(jù)地圖的方式顯示，直觀地展示了表面紋理特征。
如一款旋轉拋物面零件，用于微小位移和角度檢測，其表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征，針對其凹面弧形的檢測需求，現(xiàn)有的顯微測量儀器中，原子力顯微鏡和共聚焦顯微鏡，均分別因有損測量或分辨率不夠的原因而排除，而以白光干涉為原理的SuperView W1白光干涉儀在能同時滿足無損、超高分辨率、耐高反等條件。
