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標簽 > NEMS
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現在微機電系統(tǒng)已經遠遠超越了“機”和“電”的概念, 將處理熱、光、磁、化學、生物等結構和器件通過微電子工藝及其他一些微加工工藝制造在芯片上, 并通過與...
2018-05-03 標簽:cmosnems微機電系統(tǒng) 1.1萬 0
進行MEMS制造的最基本需求是能夠沉積1到100微米之間的材料薄膜。NEMS的制造過程是基本一致的,膜沉積的測量范圍從幾納米到一微米。
MEMS傳感器在汽車應用增長快速,NEMS、3.5D封裝技術成趨勢
電子發(fā)燒友網報道(文/劉靜)MEMS傳感器主要是利用半導體制造工藝和材料,加工微型機械結構形成的傳感器和執(zhí)行器,然后匹配控制電路和信號處理電路,來測量和...
受昆蟲生物學的啟發(fā),哈佛大學的一個團隊正在突破其項目的極限,打造出有史以來最小、速度最快的微型機器人:
NEMS或將引發(fā)半導體組件微型化的下一場戰(zhàn)爭
NEMS或將引發(fā)半導體組件微型化的下一個戰(zhàn)爭 據新興芯片技術領域的專家表示,納米機電系統(tǒng)(nanoelectromechanical systems,...
記者近日從中國科技大學獲悉,中國科學院院士郭光燦領導的中科院量子信息重點實驗室在基于碳納米管的納米機電系統(tǒng)(NEMS)方面取得系列重要進展。該實驗室固態(tài)...
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