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標(biāo)簽 > 濕法
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						半導(dǎo)體濕法清洗工藝?? 隨著半導(dǎo)體器件尺寸的不斷縮小和精度要求的不斷提高,晶圓清洗工藝的技術(shù)要求也日益嚴(yán)苛。晶圓表面任何微小的顆粒、有機(jī)物、金屬離子或氧...
2025-02-20 標(biāo)簽:濕法半導(dǎo)體制造 3k 0
 
												
						什么是刻蝕?刻蝕是指通過物理或化學(xué)方法對材料進(jìn)行選擇性的去除,從而實(shí)現(xiàn)設(shè)計的結(jié)構(gòu)圖形的一種技術(shù)。蝕刻是半導(dǎo)體制造及微納加工工藝中相當(dāng)重要的步驟,自194...
 
												
						半導(dǎo)體濕法去膠是一種通過化學(xué)溶解與物理輔助相結(jié)合的技術(shù),用于高效、可控地去除晶圓表面的光刻膠及其他工藝殘留物。以下是其核心原理及關(guān)鍵機(jī)制的詳細(xì)說明:化學(xué)...
 
												
						濕法刻蝕通常是各向同性的(即沿所有方向均勻腐蝕),但在某些特定條件下也會表現(xiàn)出一定的各向異性。以下是其產(chǎn)生各向異性的主要原因及機(jī)制分析:晶體結(jié)構(gòu)的原子級...
 
												
						濕法刻蝕是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵工藝,其效果受多種因素影響。以下是主要影響因素及詳細(xì)分析:1.化學(xué)試劑性質(zhì)與濃度?種類選擇根據(jù)被刻蝕材料的化學(xué)活性匹配特定溶...
 
												
						濕法刻蝕SC2工藝在半導(dǎo)體制造及相關(guān)領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用,以下是其主要應(yīng)用場景和優(yōu)勢:材料選擇性去除與表面平整化功能描述:通過精確控制化學(xué)溶液的組成,能...
 
												
						標(biāo)準(zhǔn)清洗液SC-1是半導(dǎo)體制造中常用的濕法清洗試劑,其核心成分包括以下三種化學(xué)物質(zhì):氨水(NH?OH):作為堿性溶液提供氫氧根離子(OH?),使清洗液呈...
2025-08-26 標(biāo)簽:濕法半導(dǎo)體制造 596 0
 
												
						在濕法清洗過程中,防止污染物再沉積是確保清洗效果和產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵。以下是系統(tǒng)化的防控策略及具體實(shí)施方法:一、流體動力學(xué)優(yōu)化設(shè)計1.層流場構(gòu)建技術(shù)采用低湍...
 
												
						濕法刻蝕的工藝指標(biāo)是確保半導(dǎo)體制造過程中圖形轉(zhuǎn)移精度和器件性能的關(guān)鍵參數(shù),主要包括以下幾個方面:刻蝕速率定義與意義:指單位時間內(nèi)材料被去除的厚度(如μm...
2025-09-02 標(biāo)簽:濕法半導(dǎo)體制造 422 0
磷酸鐵鋰干法與濕法混料技術(shù)比較分析 磷酸鐵鋰的混料方式主要有兩種: (1)干法混料,將各種物料
濕法刻蝕是一種在半導(dǎo)體制造過程中常用的技術(shù),用于通過化學(xué)反應(yīng)溶解或腐蝕材料表面,以形成所需的紋理或結(jié)構(gòu)。 以下是濕法刻蝕的詳細(xì)工藝原理: 準(zhǔn)備工作 在進(jìn)...
大家知道芯片是一個要求極其嚴(yán)格的東西,為此我們生產(chǎn)中想盡辦法想要讓它減少污染,更加徹底去除污染物。那么,今天來說說,大家知道芯片濕法刻蝕殘留物到底用什么...
至純科技:下半年訂單飆升,濕法設(shè)備市場領(lǐng)跑
至純科技旗下的至微科技是國內(nèi)濕法設(shè)備市場主流供應(yīng)商之一,在28納米節(jié)點(diǎn)實(shí)現(xiàn)了全覆蓋,全工藝機(jī)臺亦均有訂單。在更為尖端的制程中,至微科技已有部分工藝獲得訂單。
 
												半導(dǎo)體制造關(guān)鍵工藝:濕法刻蝕設(shè)備技術(shù)解析
刻蝕工藝的核心機(jī)理與重要性 刻蝕工藝是半導(dǎo)體圖案化過程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié),與光刻機(jī)和薄膜沉積設(shè)備并稱為半導(dǎo)體制造的三大核心設(shè)備。刻蝕的主要作用是將光刻膠上的圖...
2025-04-27 標(biāo)簽:濕法半導(dǎo)體制造刻蝕 1.6k 0
華海清科:12英寸超精密晶圓減薄機(jī)Versatile-GP300已獲得小批量訂單
在北京亦莊項(xiàng)目建設(shè)方面,華海清科據(jù)公司的子公司華海清科北京在北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)實(shí)行“華海清科集成電路高端裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目,用于公司開展化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)...
提高濕法刻蝕的選擇比,是半導(dǎo)體制造過程中優(yōu)化工藝、提升產(chǎn)品性能的關(guān)鍵步驟。選擇比指的是在刻蝕過程中,目標(biāo)材料與非目標(biāo)材料的刻蝕速率之比。一個高的選擇比意...
芯片濕法刻蝕方法主要包括各向同性刻蝕和各向異性刻蝕。為了讓大家更好了解這兩種方法,我們下面準(zhǔn)備了詳細(xì)的介紹,大家可以一起來看看。 各向同性刻蝕 定義:各...
芯片濕法蝕刻工藝是一種在半導(dǎo)體制造中使用的關(guān)鍵技術(shù),主要用于通過化學(xué)溶液去除硅片上不需要的材料。 基本概念 濕法蝕刻是一種將硅片浸入特定的化學(xué)溶液中以去...
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