在半導(dǎo)體制造及濕法清洗工藝中，“化學(xué)槽NPP”通常指一種特定的工藝步驟或設(shè)備配置，其含義需要結(jié)合上下文來理解。以下是可能的解釋和詳細(xì)說明：

1. 術(shù)語解析：NPP的可能含義

根據(jù)行業(yè)慣例，“NPP”可能是以下兩種常見縮寫之一：

(1) New Process Path（新工藝路徑）

• 應(yīng)用場景：在生產(chǎn)線升級(jí)時(shí)，為測試新型清洗配方或反應(yīng)條件而設(shè)立的專用化學(xué)槽。例如：

“本次試驗(yàn)將采用NPP化學(xué)槽驗(yàn)證硫酸雙氧水混合液對(duì)銅污染的去除效果?！?/p>

• 作用：作為臨時(shí)替代現(xiàn)有主流工藝（Mainstream Process）的實(shí)驗(yàn)性單元，用于收集數(shù)據(jù)以優(yōu)化量產(chǎn)方案。

(2) Non-Productive Passivation（非生產(chǎn)型鈍化處理）

• 技術(shù)目的：某些情況下，化學(xué)槽會(huì)注入特定溶液（如稀HF或BOE緩沖液），對(duì)晶圓表面進(jìn)行輕微蝕刻后形成致密氧化層，既防止存儲(chǔ)期間生銹又不參與實(shí)際產(chǎn)品功能。典型應(yīng)用包括：
  • 庫存晶圓的短期防腐保存；
  • 失效分析前的臨時(shí)保護(hù)措施。
• 特征：區(qū)別于常規(guī)生產(chǎn)中的功能性鈍化工藝（如柵極氧化膜生長），此類處理僅用于輔助流程控制。

2. 化學(xué)槽的設(shè)計(jì)特點(diǎn)與功能延伸

無論哪種解釋，“NPP化學(xué)槽”均具備以下共性特征：

3. 典型工藝流程示例

以先進(jìn)封裝中的UBM（Under Bump Metallization）制備為例：

1. 預(yù)清洗階段 → NPP槽執(zhí)行SC-1配方（NH?OH:H?O?:H?O=1:1:5）去除光刻膠殘留；
2. 活化處理 → 同一NPP槽切換至稀鹽酸溶液粗化鋁墊表面；
3. 過渡沖洗 → 純水噴淋模塊嵌入在兩道NPP工序之間實(shí)現(xiàn)快速置換。

4. 與其他類似概念的區(qū)別

“化學(xué)槽NPP”的具體含義需根據(jù)工廠內(nèi)部的命名規(guī)范判斷，但其核心價(jià)值在于提供靈活的工藝開發(fā)平臺(tái)。對(duì)于工程師而言，重點(diǎn)關(guān)注其非標(biāo)準(zhǔn)化的操作窗口和跨工序兼容性，這是突破傳統(tǒng)清洗效率瓶頸的關(guān)鍵工具。建議通過查閱該設(shè)備的SOP文件或咨詢工藝整合工程師獲取更精準(zhǔn)的定義。