鎢絲掃描電子顯微鏡的發(fā)射電流和光斑都比較適中，抗干擾能力和穩(wěn)定性比較好。可在低真空下對(duì)非導(dǎo)電樣品進(jìn)行成像，并可用于形貌觀察、微觀結(jié)構(gòu)分析，以及斷口形貌分析。分析，在材料、地質(zhì)、礦產(chǎn)、冶金、機(jī)械、化學(xué)、化工、物理、電子、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域有著廣泛的用途。

工作原理：

通過(guò)向電子槍中的鎢燈絲施加高電壓，使電子槍處于熱激發(fā)狀態(tài)。在陽(yáng)極的作用下，熱激發(fā)電子槍就可以激發(fā)電子束。電子束在掃描線圈的磁場(chǎng)控制下，在樣品表面逐點(diǎn)掃描，激發(fā)出二次電子和背散射電子等物理信號(hào)，被探測(cè)器收集，經(jīng)放大器放大，對(duì)圖像進(jìn)行調(diào)制。鎢絲掃描電鏡適用于大量的常規(guī)檢查。

鎢絲掃描電子顯微鏡使用時(shí)的一些注意事項(xiàng)：

(1) 鎢燈絲的表面可以吸收一定量的空氣和水蒸氣。當(dāng)安裝在電子顯微鏡燈管中時(shí)，會(huì)慢慢從鎢燈絲表面釋放出來(lái)，影響燈管的真空度，腐蝕燈絲。因此，鎢燈絲在更換前必須進(jìn)行“除濕脫氣”?？蓪⑵渲糜?5°C的電熱箱中加熱數(shù)小時(shí)，再置于透射電子顯微鏡抽膜箱中預(yù)抽數(shù)小時(shí)，以除去鎢燈絲上吸附的灰塵。殘余空氣和水蒸氣。

鎢燈絲掃描電鏡優(yōu)異的圖像質(zhì)量
(2) 如果干燥后的樣品暫時(shí)不用，可以存放在干燥器或真空中。樣品貼附臺(tái)后，最好將其放入透射電子顯微鏡膜提取腔中，預(yù)抽真空數(shù)小時(shí)后再放入電子顯微鏡中觀察。 (3)降低飽和點(diǎn)以滿足要求。掃描電子顯微鏡的鎢絲有兩個(gè)飽和點(diǎn)：第二飽和點(diǎn)用于高分辨率觀測(cè)和攝影。如果對(duì)圖像要求不高或者做EDS的話，可以在第一個(gè)飽和點(diǎn)下功夫，這樣可以延長(zhǎng)燈絲的壽命。 (4)抽高真空后等待幾分鐘，使真空度更高。在放氣前等幾分鐘，讓燈絲冷卻下來(lái)，然后再放氣，以避免鎢燈絲因接觸大氣而過(guò)熱而氧化。

(5) 加速電壓不宜過(guò)高，滿足要求即可。如果能用低電壓，就不要用高電壓。當(dāng)放大倍數(shù)不超過(guò)10,000倍時(shí)，15-20 Kv通常就足夠了。同時(shí)，工作電壓和工作距離應(yīng)保持相對(duì)穩(wěn)定。如無(wú)特殊需要，不要頻繁改變電壓和工作距離。電子顯微鏡工作參數(shù)的頻繁變化不利于電子顯微鏡的穩(wěn)定運(yùn)行。

(6)盡可能少地頻繁開(kāi)關(guān)鎢燈絲。次數(shù)過(guò)多會(huì)對(duì)鎢燈絲不利。它不僅大大降低了維護(hù)成本，而且保證了電子顯微鏡的高效穩(wěn)定運(yùn)行。

蔡司鎢燈絲掃描電鏡EVO系列

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審核編輯 黃宇