今日（3月1日）下午，2023年中國MEMS制造大會（China MEMS 2023）在蘇州舉行，這是目前中國MEMS行業(yè)最具影響力的大會，由國家級MEMS行業(yè)組織——中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會MEMS分會聯(lián)合中科院納米所、蘇州納米城等主辦，本次大會已是第四屆。 會上，舉行了“2021中國MEMS十強企業(yè)”頒獎儀式，宣布了最新的國產(chǎn)MEMS企業(yè)十強名單，該名單由中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會根據(jù)行業(yè)季度統(tǒng)計報表及各地方協(xié)會統(tǒng)計數(shù)據(jù)評選出。 鑒于中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會的廣泛影響力和權(quán)威性，本名單應(yīng)是目前國內(nèi)最權(quán)威的MEMS企業(yè)排行，某種程度上代表現(xiàn)在中國MEMS領(lǐng)域?qū)嵙ψ顝姷?0家頭部企業(yè)。

歌爾微電子股份有限公司

歌爾微電子成立于2017年，是我國MEMS傳感器龍頭企業(yè)歌爾股份子公司，2019年歌爾股份啟動分拆工作，將MEMS相關(guān)業(yè)務(wù)全部分拆到歌爾微電子，歌爾微成為歌爾體系內(nèi)唯一從事MEMS微電子相關(guān)業(yè)務(wù)的主體，并繼承歌爾股份在MEMS領(lǐng)域的市場地位。

歌爾微電子（歌爾股份）常年位居“中國MEMS十強”企業(yè)名單榜首，據(jù)知名半導(dǎo)體市場咨詢機構(gòu)Yole Development 的《MEMS產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀報告》顯示，從2019年開始，歌爾微（歌爾股份）連續(xù)躋身全球10大MEMS廠商之列，也是前十名中唯一一家中國企業(yè)。

在MEMS聲學(xué)傳感器（麥克風(fēng)）領(lǐng)域，歌爾微電子于2020年超過樓氏電子成為行業(yè)第一，市場占有率居世界同行業(yè)之首，這是樓氏電子稱霸MEMS麥克風(fēng)15年來首次落敗。

由多家權(quán)威機構(gòu)聯(lián)合發(fā)布的《中國傳感器發(fā)展藍(lán)皮書》中，歌爾微（歌爾股份）被評為首批36家具有影響力的傳感器企業(yè)之一，中國微型麥克風(fēng)代表性企業(yè)。

目前，歌爾微電子正在深交所創(chuàng)業(yè)板進行IPO上市，當(dāng)前已過會，但仍未提交注冊。

▲歌爾股份/歌爾微市場占有率排名（來自歌爾微招股書） 瑞聲聲學(xué)科技（深圳）有限公司

瑞聲科技成立于1993年，為智能設(shè)備提供領(lǐng)先的微型專有技術(shù)解決方案，在聲學(xué)、光學(xué)、觸覺反饋、精密制造、微機電、無線射頻和天線領(lǐng)域擁有材料研發(fā)、仿真、算法、設(shè)計、自動化以及工藝開發(fā)等尖端技術(shù)。

《中國傳感器發(fā)展藍(lán)皮書》首批36家具有影響力的傳感器企業(yè)之一，中國電聲元器件代表性企業(yè)，全球著名的電聲元器件制造商之一，2005年在香港上市。

瑞聲科技是我國MEMS領(lǐng)域另一龍頭企業(yè)，與歌爾微一樣主營傳感器業(yè)務(wù)都是MEMS麥克風(fēng)，瑞聲科技也是我國另一家進入全球MEMS廠商 TOP 30 的傳感器企業(yè)。關(guān)于全球MEMS廠商排名可參看《2022年全球十大MEMS廠商排名出爐！5家中國公司殺入TOP 30！》

在微型聲學(xué)、觸覺、MEMS麥克風(fēng)領(lǐng)域，瑞聲科技分別被工信部認(rèn)定為我國制造業(yè)單項冠軍示范企業(yè)?，F(xiàn)已成為全球領(lǐng)先的同行、IT及消費電子市場微型元器件整體方案供貨商。

河北美泰電子科技有限公司

美泰科技是中國電子科技集團第十三研究所全資子公司，中國MEMS行業(yè)協(xié)會理事長單位，專門致力于MEMS（微電子機械系統(tǒng)）器件與系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。連續(xù)多年榮獲“中國半導(dǎo)體MEMS十強企業(yè)”，是國內(nèi)最大的MEMS核心芯片、器件和系統(tǒng)產(chǎn)品供應(yīng)商，中國MEMS技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者。

美泰科技擁有自己的MEMS傳感器芯片產(chǎn)線，是一家IDM企業(yè)。2015年中電十三所的“6英寸SOI MEMS標(biāo)準(zhǔn)加工技術(shù)及在高性能MEMS 器件中的應(yīng)用”通過科技部組織的專家驗收，用于MEMS陀螺儀、加速度計、振動傳感器、碰撞傳感器、MEMS光開關(guān)、VOA及壓力傳感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸產(chǎn)線月產(chǎn)能達(dá)到1萬片。

《中國傳感器發(fā)展藍(lán)皮書》評為首批36家具有影響力的傳感器企業(yè)之一，中國MEMS傳感器代表性企業(yè)，優(yōu)勢產(chǎn)品包括MEMS慣性器件與系統(tǒng)、MEMS傳感器、汽車傳感器、壓力傳感器、射頻（RF）MEMS器件等。

美新半導(dǎo)體有限公司

美新半導(dǎo)體（MEMSIC）成立于1999年, 目前總部位于中國天津，曾于2007年在美國納斯達(dá)克上市，被譽為全球MEMS第一股。

美新半導(dǎo)體（MEMSIC）是全球領(lǐng)先的慣性MEMS傳感器及解決方案提供商，也是中國最大的MEMS慣性傳感器企業(yè)，《中國傳感器發(fā)展藍(lán)皮書》評為首批36家具有影響力的傳感器企業(yè)之一，中國慣性傳感器代表性企業(yè)。

2020年，美新獲得mCube獨家授權(quán)其所有慣性傳感器芯片技術(shù)，全面布局電容式加速度計和陀螺儀領(lǐng)域，開發(fā)了基于標(biāo)準(zhǔn)CMOS流程的微機電系統(tǒng)和全球領(lǐng)先的制造工藝和測試技術(shù)，成功研發(fā)出30多種型號的加速度傳感器、磁傳感器等產(chǎn)品。

美新半導(dǎo)體是一家IDM企業(yè)，在無錫建有8英寸MEMS磁、慣性傳感器封測產(chǎn)線。2022年12月，據(jù)紹興日報消息，總投資近4億元的美新半導(dǎo)體項目即將投產(chǎn)，將形成年產(chǎn)6億顆MEMS磁傳感器芯片和1.2億顆加速度傳感器的生產(chǎn)能力。

上海矽睿科技股份有限公司

矽?？萍汲闪⒂?012年，專注于高質(zhì)量傳感器產(chǎn)品的設(shè)計、制造、以及增值應(yīng)用與服務(wù)，致力于成為以應(yīng)用為導(dǎo)向的多傳感器平臺。

矽睿科技擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)，產(chǎn)品包括多款MEMS傳感器、磁性傳感器芯片、及汽車與物聯(lián)網(wǎng)智能模組和系統(tǒng)。矽睿科技多年進入“中國MEMS10強”企業(yè)名單，是我國磁傳感器、慣性傳感器主要廠商之一，《中國傳感器發(fā)展藍(lán)皮書》評為首批36家具有影響力的傳感器企業(yè)之一。

矽?？萍加?023年1月公開IPO上市輔導(dǎo)備案情況，擬在中國A股上市，目前尚未披露具體上市板塊，相關(guān)情況可參看《7家企業(yè)密集啟動上市輔導(dǎo)，中國傳感器產(chǎn)業(yè)迎來史上最黃金的一年！》。

華潤微集成電路有限公司

華潤微電子是2002年華潤集團收購華晶集團改組而成，是領(lǐng)先的半導(dǎo)體和智能傳感器供應(yīng)商，總部位于無錫，擁有3條6英寸線，其中MEMS產(chǎn)線是國內(nèi)規(guī)模最大的與CMOS生產(chǎn)線兼容的MEMS傳感器量產(chǎn)生產(chǎn)線，具有國內(nèi)領(lǐng)先水平的 MEMS 表面和體硅加工技術(shù)，用于制造壓力、硅麥克風(fēng)、光電、溫濕度等MEMS傳感器。

華潤微電子8吋MEMS的3000片/月產(chǎn)能擴充已經(jīng)完成，并投入使用。光電及MEMS麥克風(fēng)工藝平臺從6英寸升級到8英寸，實現(xiàn)批量生產(chǎn)，產(chǎn)品性能及良率水平優(yōu)秀；整體提升了其MEMS工藝技術(shù)水平和競爭能力。

此外，南昌華潤微電子MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)園二期，項目于2022年8月份開工，總投資4.5億元，目前已完成整體項目的50%，預(yù)計今年（2023年）10月份竣工交付使用。

蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司

敏芯股份成立于2007年，是一家專業(yè)從事微電子機械系統(tǒng)傳感器研發(fā)設(shè)計的高新技術(shù)企業(yè)，主導(dǎo)推動了中國MEMS產(chǎn)業(yè)鏈構(gòu)建，被贊譽為產(chǎn)業(yè)拓荒者，2020年8月登陸上海證券交易所科創(chuàng)板，為中國MEMS芯片第一股。

敏芯股份的三大產(chǎn)品線分別為MEMS麥克風(fēng)、MEMS壓力傳感器和MEMS慣性傳感器，被《中國傳感器發(fā)展藍(lán)皮書》評為首批36家具有影響力的傳感器企業(yè)之一。

敏芯作為中國最早成立的MEMS研發(fā)公司之一，現(xiàn)已擁有完整的芯片設(shè)計、晶圓制造、封裝與測試等全產(chǎn)業(yè)鏈的自主研發(fā)設(shè)計能力，憑借完全自主設(shè)計的MEMS芯片與ASIC芯片成功打破了國外廠商長期壟斷的格局，為MEMS全產(chǎn)業(yè)鏈的國產(chǎn)化探索了一條完整的道路。

此為，敏芯股份是中國MEMS聲學(xué)傳感器芯片出貨量第一的企業(yè)，在全球排第三，也是唯一進入全球前5的中國企業(yè)。

▲來源：歌爾微招股書

杭州士蘭微電子股份有限公司

杭州士蘭微1997年成立，是國內(nèi)規(guī)模最大的集成電路芯片設(shè)計與制造一體（IDM）的企業(yè)之一。

自2010年開始，士蘭微電子投入大量資金，通過對加速度傳感器、地磁傳感器、壓力傳感器等一系列傳感器產(chǎn)品的開發(fā)，在6吋、8吋芯片生產(chǎn)線上實現(xiàn)了批量制造能力，并建立自己的MEMS封測生產(chǎn)線，初步走通了系列傳感器的IDM發(fā)展之路，已申請相關(guān)發(fā)明專利百余項。

目前士蘭微MEMS傳感器產(chǎn)品系列豐富，有：MEMS加速度計、三軸AMR磁傳感器、六軸慣性傳感器、高性能MEMS麥克風(fēng)、數(shù)字三合一傳感器、心率傳感器、高性能氣壓壓力傳感器等。

西人馬聯(lián)合測控（泉州）科技有限公司

西人馬聯(lián)合測控成立于2017年，總部坐落于福建，總?cè)藬?shù)逾800人，其中科研人員占比超40%，擁有近500項專利，并以每年30%的速度快速遞增。

西人馬采用IDM經(jīng)營模式，目前生產(chǎn)落地于福建6英寸FAB廠，擁有先進的MEMS / IC等硅基芯片以及非硅基芯片的設(shè)計、制造、封測能力，已經(jīng)成為國內(nèi)MEMS領(lǐng)域IDM芯片公司的鰲頭，紅外和壓力傳感器每日產(chǎn)量可以達(dá)到幾十萬顆。

2022年11月消息，西人馬將在上海投資36.5億元，新建一條8英寸MEMS芯片生產(chǎn)線和第三代化合物半導(dǎo)體外延及芯片生產(chǎn)線。

蘇州納芯微電子股份有限公司

納芯微電子成立于2013年，是高性能高可靠性模擬芯片的研發(fā)設(shè)計企業(yè)，專注于圍繞各個應(yīng)用場景進行產(chǎn)品開發(fā)，由傳感器信號調(diào)理ASIC芯片出發(fā)，向前后端拓展了集成式傳感器芯片、隔離與接口芯片、驅(qū)動與采樣芯片，形成了信號感知、系統(tǒng)互聯(lián)與功率驅(qū)動的產(chǎn)品布局。

納芯微電子是一家非常年輕但成長快速的國產(chǎn)傳感器芯片企業(yè)，2022年4月納芯微成功在上交所科創(chuàng)板上市，創(chuàng)下中國傳感器&半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)史上最貴IPO首發(fā)價的股票記錄，相關(guān)情況參看《中國傳感器史上最貴IPO誕生！》。

納芯微被EET電子工程專輯（中國）評為中國傳感器公司TOP10之一。未來，納芯微將開辟磁傳感器賽道，已量產(chǎn)包括磁電流傳感器、磁位置傳感器等磁傳感器，并與大陸集團等合作，促進乘用車關(guān)鍵零部件輪速傳感器本土化生產(chǎn)。

結(jié)語

因疫情原因，第四屆中國MEMS制造大會姍姍來遲。

在本屆大會發(fā)布的2021年“中國MEMS十強企業(yè)”名單，含金量十足。與2020年MEMS十強名單相比，主要企業(yè)變化不大，歌爾微電子、瑞聲科技仍牢牢占據(jù)TOP 2 寶座，前十中只有明皜傳感落榜，取而代之的是士蘭微。

其中，MEMS芯片IDM企業(yè)占據(jù)榜單的半數(shù)，美泰科技、美新半導(dǎo)體、華潤微、士蘭微、西人馬均是IDM企業(yè)，擁有自己的MEMS芯片產(chǎn)線。

值得一提的是，多家MEMS傳感器企業(yè)都比較“年輕”，除歌爾微比較特殊外，矽睿、西人馬、納芯微分別成立于2012、2017、2013，短短幾年已成長為行業(yè)主要公司，可見中國MEMS產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展勢頭。

雖然中國MEMS產(chǎn)業(yè)方興未艾，但各細(xì)分領(lǐng)域頭部企業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)地位已經(jīng)逐漸建立，留給新興MEMS企業(yè)的時間機遇并不多了，這幾年將是建立中國MEMS產(chǎn)業(yè)格局的關(guān)鍵時期。

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審核編輯黃宇