微機電系統(tǒng)(MEMS)專題

微機電系統(tǒng),英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫),其是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發(fā)展而發(fā)展起來的.電子發(fā)燒友為大家提供了詳盡的技術知識。
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