在微運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)中，驅(qū)動(dòng)器是實(shí)施微運(yùn)動(dòng)的關(guān)鍵部件，為了實(shí)現(xiàn)高精度的微運(yùn)動(dòng)，必須具備高運(yùn)動(dòng)精度和高定位精度的驅(qū)動(dòng)器，因此，驅(qū)動(dòng)器技術(shù)是微運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的核心技術(shù)。目前已經(jīng)涌現(xiàn)出很多種微運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，概括國(guó)內(nèi)外微運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)器技術(shù)，從驅(qū)動(dòng)原理和方式上看，主要驅(qū)動(dòng)形式有壓電驅(qū)動(dòng)、形狀記憶合金驅(qū)動(dòng)和電磁驅(qū)動(dòng)等類(lèi)型．與其它微驅(qū)動(dòng)器相比較，電磁驅(qū)動(dòng)技術(shù)由于采用運(yùn)動(dòng)體和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)分離的驅(qū)動(dòng)方式，運(yùn)動(dòng)體與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)非接觸、無(wú)摩擦損耗，所以易于在單一驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)中實(shí)現(xiàn)多自由度、大范圍高精度的微運(yùn)動(dòng)，并且具有良好的動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性．總結(jié)國(guó)內(nèi)外的電磁驅(qū)動(dòng)器，主要可分為兩類(lèi)：一類(lèi)是懸浮力和驅(qū)動(dòng)力由同一部件提供，這種結(jié)構(gòu)需要利用復(fù)雜的控制算法進(jìn)行解耦，不僅編程相當(dāng)復(fù)雜，給控制芯片帶來(lái)巨大的運(yùn)算量，降低了芯片的控制效果，而且解耦效果不太理想．另一類(lèi)是利用電磁鐵的吸力實(shí)現(xiàn)懸浮的方法，其懸浮力與驅(qū)動(dòng)力由獨(dú)立的部件控制，但是其結(jié)構(gòu)上不穩(wěn)定，控制量的波動(dòng)較大．鑒于此，本文設(shè)計(jì)了一種基于磁場(chǎng)同步跟隨的電磁懸浮式微驅(qū)動(dòng)器，解決了懸浮單元與驅(qū)動(dòng)單元之間的耦合和運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性較低的問(wèn)題，并對(duì)其進(jìn)行了運(yùn)動(dòng)狀態(tài)下的力學(xué)分析和系統(tǒng)測(cè)試。