摘要：應(yīng)用等離子體浸沒離子注入與沉積方法合成了磷摻雜的類金剛石（diamond like carbon，DLC）薄膜。結(jié)構(gòu)分析表明磷以微米級島狀結(jié)構(gòu)分散于DLC薄膜表層，P 的摻雜增加了DLC 薄膜的無序性，俄歇能譜表明島型區(qū)域是由P、C、O 三種元素形成的化合物。摻雜表面表現(xiàn)出強烈的親水性（水接觸角為16.9°），體外血小板粘附實驗結(jié)果顯示，P 摻雜DLC薄膜表面粘附的血小板少且變形小，表現(xiàn)出的血液相容性優(yōu)于熱解碳和未改性DLC。
關(guān)鍵詞：類金剛石；磷摻雜；等離子體浸沒離子注入
與沉積；血液相容性

類金剛石薄膜是一類具有良好力學、摩擦學和生物學性能的無機薄膜材料。在生物醫(yī)學領(lǐng)域，DLC薄膜被應(yīng)用于人工關(guān)節(jié)及心血管植入器械的表面改性，以獲得高硬度、低摩擦系數(shù)和優(yōu)良血液相容性的材料表面。不同元素摻雜DLC薄膜的合成，可以在更寬的范圍調(diào)節(jié)DLC的材料學性質(zhì)，拓展薄膜的功能性應(yīng)用。我們在以前的研究中，制備了氫、氮元素摻雜的DLC薄膜[1]，其表現(xiàn)出良好的血液相容性。等離子體浸沒離子注入與沉積(plasma immersion ionimplantation，PIII-D)技術(shù)綜合了等離子沉積和高能離子注入兩個過程，對樣品實現(xiàn)全方位、非視線性的表面處理，能夠改變材料表面一定深度（幾埃到幾千埃）范圍的化學成分、結(jié)構(gòu)和性質(zhì)。本文通PIII-D方法合成了磷（P）元素摻雜的DLC膜，并探討了P摻雜對碳薄膜結(jié)構(gòu)、性質(zhì)和血液相容性的影響。