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      MEMS矢量水聽器敏感結(jié)構(gòu)的后CMOS釋放工藝研究

      2025-07-24 | pdf | 5.51 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      纖毛式微機電系統(tǒng)(MEMS)矢量水聽器可探測水下質(zhì)點振速等矢量信息，與互補金屬氧化物半 導體(CMOS)集成能夠很大程度地提升其性能：，針對纖毛式MEMS矢量水聽器的CMOS集成提出了一種 方案，該方案在MEMS后處理工藝IIJ，利用側(cè)墻保護和各向異性濕法腐蝕從正面釋放水聽器的十字梁敏 感結(jié)構(gòu)。整個后處理過程不需要光刻，降低加工難度的同時，保證了加工結(jié)構(gòu)的精確性。設計出了一種驗 證性的工藝流程，具體分析了4種不同結(jié)構(gòu)的濕法腐蝕過程。最終完成了這4種結(jié)構(gòu)的工藝流片，對實 驗結(jié)果進行了分析。實驗驗證了該方案的可行性，為纖毛式MEMS矢量水聽器的CMOS集成奠定了 基礎(chǔ)。

      半導體 mems
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