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本文提出了一種采用綜合模似 / 數(shù)字技術(shù)以軟件取代硬件實(shí)現(xiàn)和提高系統(tǒng)性能的微控制技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)光柵莫爾條紋的80細(xì)分與計(jì)數(shù)方法, 其特點(diǎn)是：分辯率高、穩(wěn)定性好、集成度高、調(diào)整簡(jiǎn)單及智能化與儀器化。采用軟件細(xì)分、計(jì)數(shù)及誤差修正，可適應(yīng) 不同刻線 的光柵尺與分辯率 的要求。木方法將對(duì)光柵尺在超精密測(cè)量及超精密加工等領(lǐng)域中應(yīng)用起到重要的作用。
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