資料介紹
														隨著MEMS 系統(tǒng)級(jí)設(shè)計(jì)成為研究的熱點(diǎn),MEMS 系統(tǒng)級(jí)CAD 的開(kāi)發(fā)日益重要。論文介紹了一種基于降階宏模型MEMS 系統(tǒng)級(jí)仿真平臺(tái),通過(guò)有限元方法提取MEMS 器件幾何物理數(shù)據(jù),建立MEMS 器件有限元模型,利用Krylov 子空間算法縮聚自由度建立宏模型,通過(guò)系統(tǒng)級(jí)仿真平臺(tái)對(duì)此進(jìn)行系統(tǒng)級(jí)仿真。 整個(gè)流程通過(guò)VC++編譯器調(diào)用ANSYS、嵌入封裝的算法動(dòng)態(tài)鏈接庫(kù)、集成SIMULINK 系統(tǒng)仿真器完成。并用雙端固支梁實(shí)例對(duì)所有模塊加以驗(yàn)證,仿真結(jié)果準(zhǔn)確,計(jì)算效率較高。
												
												
												
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