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提出一種采用IGBT集電極漏電流對其芯片性能退化進(jìn)程進(jìn)行監(jiān)控的健康狀態(tài)監(jiān)測方法?；贗GBT基本結(jié)構(gòu)、半導(dǎo)體物理和器件可靠性物理學(xué)，對IGBT電氣特征量一一集電極漏電流的產(chǎn)生機(jī)理、運(yùn)行規(guī)律與性能退化機(jī)理進(jìn)行詳細(xì)分析，查明了其隨性能退化應(yīng)力水平和施加時間的變化規(guī)律。在此基礎(chǔ)上，通過將理論分析與解析描述相結(jié)合，建立針對IGBT芯片性能退化的集電極漏電流健康狀態(tài)監(jiān)測方法。仿真和實驗結(jié)果驗證了該方法的正確性與準(zhǔn)確性。該方法對于實現(xiàn)IGBT芯片性能退化進(jìn)程監(jiān)控具有一定的理論意義和應(yīng)用價值。
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