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      電子發(fā)燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>晶體生長參數的檢測與優(yōu)化

      晶體生長參數的檢測與優(yōu)化

      2010-03-01 | rar | 333 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      為了獲得優(yōu)質的碲鋅鎘單晶體，采用工控機和組態(tài)王６?５３開發(fā)了一種晶體生長參數的檢測優(yōu)化系統(tǒng)．實現對晶體生長爐內各個溫區(qū)的溫度、籽晶桿的旋轉方式及各個時段的旋轉速度、布里奇垂直下降速度、坩堝位置及溫度等參數的實時檢測、記錄和存儲．根據檢測數據可對晶體生長質量及生長缺陷做出分析，為改進晶體生長方案、提高晶體生長質量和優(yōu)化控制參數提供可靠的依據．
      關鍵詞：晶體生長；參數檢測；參數優(yōu)化；組態(tài)王６?５３
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