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      硅通孔互連技術的開發(fā)與應用

      2009-12-14 | rar | 344 | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      硅通孔互連技術的開發(fā)與應用
      封國強 蔡堅 王水弟
      （清華大學微電子學研究所，北京，100084，中國）
      摘要：隨著三維疊層封裝、MEMS 封裝、垂直集成傳感器陣列以及臺面MOS 功率器件
      倒裝焊技術的開發(fā)，硅通孔互連技術正在受到越來越廣泛的重視和研究。本文敘述了幾種硅通孔互連的制造方法，及其應用。最后，進一步闡述了硅通孔互連中幾項關鍵技術的研究現(xiàn)狀以及存在的挑戰(zhàn)。
      關鍵詞：硅通孔互連；三維封裝；MEMS 封裝
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