微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)是一門新興的交叉學(xué)科。MEMS 能夠?qū)崿F(xiàn)各類產(chǎn)品的微
型化、集成化、便攜化，在諸多領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用與產(chǎn)業(yè)前景。本文概括地介紹了
MEMS 產(chǎn)業(yè)化的意義，并用SWOT 法分析了中國MEMS 產(chǎn)業(yè)化的現(xiàn)狀以及面臨的
機(jī)遇與挑戰(zhàn)。
關(guān)鍵詞：MEMS；產(chǎn)業(yè)化；機(jī)遇
Abstract: Micro Electro-Mechanical System(MEMS) is a rising interdiscipline. MEMS
technology will be applied to various fields, as it makes more and more products
microminiaturized, integrated and portable. This paper summarizes the significance of
MEMS industrialization, and use SWOT method to analyze current situation, opportunity
& challenge of China MEMS industrialization.
Key: MEMS; Industrialization; Opportunity
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)是指可批量生產(chǎn)的，集微傳感器、微執(zhí)行器、微結(jié)構(gòu)、微
機(jī)械、信號處理和控制電路、通信接口和電源等部件于一體的能完成特定功能的微
系統(tǒng)。MEMS 是多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域，它涉及微電子技術(shù)、機(jī)械技術(shù)、材
料科學(xué)與技術(shù)、自動控制技術(shù)、生物技術(shù)、物理與化學(xué)等學(xué)科與技術(shù)。