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      激光調制的可控大功率微波射頻源

      2009-10-23 | rar | 455 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      激光調制的可控大功率微波射頻源:本文研究了用于激光調制的可控大功率微波射頻源的設計技術及其實現技術。文中詳細闡述了大功率微波源的硬件實現技術、微波信號源的控制技術、自動環(huán)路控制技術以及微波射頻功率和頻率的檢測技術，研制出了用于激光準分子步進投影掃描光刻機的自動控制大功率微波源。所研制的微波射頻源的頻率調節(jié)范圍1700MHz到1800MHz,步進200KHz，輸出功率調節(jié)范圍在15dBm到40dBm連續(xù)可調。該微波源已經應用于激光準分子步進投影掃描光刻機，實際應用效果良好。
      關鍵詞： 大功率微波源，激光準分子光刻機，功率檢測，頻率控制
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