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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>傳感與控制>如何設(shè)計(jì)一個(gè)多晶硅壓力傳感器

      如何設(shè)計(jì)一個(gè)多晶硅壓力傳感器

      2020-03-11 | pdf | 0.16 MB | 次下載 | 1積分

      資料介紹

      　　研制一種多品硅壓力傳感器。它采用二氧化建介質(zhì)膜隔離代替p-n結(jié)隔離，提高了工作溫度；通過控制掙雜濃度，改善了溫度持性。實(shí)驗(yàn)表明，該傳感器靈敏度高，工作溫限高，溫度漂移小.

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