激光位移傳感器以其高精度、高效率、高可靠性等優(yōu)點(diǎn)，應(yīng)用于精密零件的形位和位置公差的檢測(cè)中。CCD（電荷耦合器件）是激光位移傳感器的主要部件之一，其性能直接影響到系統(tǒng)的測(cè)量結(jié)果。只有符合激光位移傳感器工作要求的CCD驅(qū)動(dòng)方法才能保證測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)確。

　　在驅(qū)動(dòng)CCD時(shí)要解決的兩個(gè)主要問(wèn)題分別是驅(qū)動(dòng)時(shí)序的產(chǎn)生和輸出信號(hào)的采集處理。在驅(qū)動(dòng)時(shí)序產(chǎn)生方面，以往的研究大多只以成功驅(qū)動(dòng)CCD為目的，因此掃描頻率不高，一般采用器件的典型頻率1 MHz或者更低。偶有專門研究討論高速驅(qū)動(dòng)CCD的方法，但多是在面陣CCD上進(jìn)行驗(yàn)證。以往的驅(qū)動(dòng)方法一般只針對(duì)一種掃描頻率，而激光位移傳感器要求在不同工作模式下CCD掃描頻率要改變。在輸出信號(hào)的采集處理方面，除了信號(hào)反相放大和濾波這些常見(jiàn)的處理外，以往一般研究的是如何消除CCD的復(fù)位噪聲和暗電流噪聲。但在激光位移傳感器的應(yīng)用中，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明復(fù)位噪聲和暗電流噪聲對(duì)測(cè)量的影響并不明顯。以往的研究中CCD受到的光照一般較強(qiáng)，但激光位移傳感器中CCD接收的是漫反射的弱光，當(dāng)掃描頻率較高時(shí)輸出信號(hào)急劇衰減，如何處理好不同掃描頻率下的CCD信號(hào)是巋須解決的問(wèn)題之一。綜上所述，有必要設(shè)計(jì)一種針對(duì)在激光位移傳感器中應(yīng)用的線陣CCD驅(qū)動(dòng)方法。