通常性能較差或具有低頻共振的機(jī)械上，即使其在半閉環(huán)控制下穩(wěn)定運(yùn)行，而使用全閉環(huán)控制時(shí)，有時(shí)也會(huì)產(chǎn)生明顯振動(dòng)，且通過(guò)常規(guī)的濾波器等方法無(wú)法消除。

　　針對(duì)這種情況，就可以使用雙重位置反饋功能。此功能就是將全閉環(huán)的機(jī)械系統(tǒng)穩(wěn)定地控制成類似半閉環(huán)控制的功能，可以明顯消除機(jī)械性能不佳、無(wú)法達(dá)到光柵尺精度要求導(dǎo)致的機(jī)械振動(dòng)。

　　備注：此功能屬于選項(xiàng)功能。目前在0i-D、0i-F、31i-A、31i-B和Power Motion i等系列系統(tǒng)中可用。

　　1.控制原理

　　雙重位置反饋控制的方框圖如下所示。

　　在上圖中，ER1為半閉環(huán)的錯(cuò)誤計(jì)數(shù)器，ER2為全閉環(huán)的錯(cuò)誤計(jì)數(shù)器。一次遲延系統(tǒng)傳遞函數(shù)通過(guò)下式來(lái)表示。

　　一次遲延系統(tǒng)傳遞函數(shù)＝（1＋ts）-1

　　所以實(shí)際錯(cuò)誤ER將基于時(shí)間常數(shù)t改變：

　　當(dāng)時(shí)間常數(shù)t=0時(shí)，實(shí)際錯(cuò)誤ER=ER2（全閉環(huán)的錯(cuò)誤計(jì)數(shù)器）

　　當(dāng)時(shí)間常數(shù)t=∞時(shí)，實(shí)際錯(cuò)誤ER=ER1（半閉環(huán)的錯(cuò)誤計(jì)數(shù)器）

　　根據(jù)一次遲延時(shí)間常數(shù)項(xiàng)，即可利用半閉環(huán)來(lái)控制過(guò)渡狀態(tài)，利用全閉環(huán)來(lái)控制定位。根據(jù)此原理，也可以將移動(dòng)中的振動(dòng)控制成類似半閉環(huán)的方式。