動態(tài)
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發(fā)布了文章 2025-07-18 14:56
瑞樂半導體——TC Wafer晶圓測溫系統(tǒng)的技術創(chuàng)新與未來趨勢熱電偶測溫
隨著半導體制造精度不斷提升，溫度作為核心工藝參數(shù)，其監(jiān)測需求將更加嚴苛。TC Wafer晶圓測溫系統(tǒng)將持續(xù)演進，從被動測量工具轉變?yōu)橹鲃庸に嚳刂频年P鍵環(huán)節(jié)，推動半導體制造邁向“感知-分析-控制”的智能新時代。721瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2025-07-10 21:31
TC Wafer晶圓測溫系統(tǒng)當前面臨的技術挑戰(zhàn)與應對方案
盡管TC Wafer晶圓系統(tǒng)已成為半導體溫度監(jiān)測的重要工具，但在實際應用中仍面臨多項技術挑戰(zhàn)。同時，隨著半導體工藝不斷向更小節(jié)點演進，該系統(tǒng)也展現(xiàn)出明確的發(fā)展趨勢，以滿足日益嚴格的測溫需求。751瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2025-07-01 21:31
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發(fā)布了產(chǎn)品 2025-06-27 10:37
On Wafer WLS無線晶圓測溫系統(tǒng)
產(chǎn)品型號：OnW-12 Wafer 尺寸：8”、12” 晶圓材質：硅片 測溫點數(shù)：53 點 /65點/ 81 點 / 可定制測溫點66瀏覽量 -
發(fā)布了產(chǎn)品 2025-06-27 10:16
TC Wafer晶圓測溫系統(tǒng)
產(chǎn)品型號：TCW-4 TCW-6 TCW-8 TCW-12 Wafer 尺寸：2”、3”、4”、6”、8”、12 晶圓材質：1-34支持定制 線長：L1- 腔體內部；L2- 倉門過渡段；L3- 腔體外部69瀏覽量 -
發(fā)布了產(chǎn)品 2025-06-27 10:12
RTD Wafer晶圓測溫系統(tǒng)
產(chǎn)品型號：RTD-12 RTD-8 Wafer 尺寸：2”、3”、4”、6”、8”、12” 晶圓材質：硅片 / 藍寶石等 測溫元件：RTD37瀏覽量 -
發(fā)布了產(chǎn)品 2025-06-27 10:08
RTD Wafer 無線晶圓測溫系統(tǒng)
產(chǎn)品型號：RTD-12 RTD-8 Wafer 尺寸：8”、12” 晶圓材質：硅片 / 藍寶石等 測溫元件：RTD28瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2025-06-27 10:03
TC Wafer晶圓測溫系統(tǒng)——半導體制造溫度監(jiān)控的核心技術
TCWafer晶圓測溫系統(tǒng)是一種革命性的溫度監(jiān)測解決方案，專為半導體制造工藝中晶圓溫度的精確測量而設計。該系統(tǒng)通過將微型熱電偶傳感器（Thermocouple）直接鑲嵌于晶圓表面，實現(xiàn)了對晶圓溫度的實時監(jiān)測。從物理結構看，TCWafer由作為基底的晶圓片（硅、藍寶石或碳化硅材質）和分布式溫度傳感器網(wǎng)絡組成，通過特殊加工工藝將耐高溫傳感器以焊接方式固定在晶圓特1.1k瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2025-05-12 22:26
瑞樂半導體——On Wafer WLS-EH無線晶圓測溫系統(tǒng)半導體制造工藝溫度監(jiān)控的革新方案
在半導體制造中，工藝溫度的精確控制直接關系到晶圓加工的良率與器件性能。傳統(tǒng)的測溫技術（如有線測溫）易受環(huán)境干擾，難以在等離子刻蝕環(huán)境中實現(xiàn)實時監(jiān)測。OnWaferWLS無線晶圓測溫系統(tǒng)通過自主研發(fā)的傳感器集成技術，將微型溫度傳感器直接嵌入晶圓載體（wafer），實現(xiàn)了對制程溫度的原位、實時、全流程監(jiān)控。該系統(tǒng)的核心突破在于DUALSHIELD技術，解決了在干549瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2025-05-12 22:23
瑞樂半導體——TC Wafer晶圓測溫系統(tǒng)持久防脫專利解決測溫點脫落的難題
TCWafer晶圓測溫系統(tǒng)是一種專為半導體制造工藝設計的溫度測量設備，通過利用自主研發(fā)的核心技術將高精度耐高溫的熱電偶傳感器嵌入晶圓表面，實現(xiàn)對晶圓特定位置及整體溫度分布的實時監(jiān)測，記錄晶圓在制程過程中的溫度變化數(shù)據(jù)，為半導體制造過程提供一種高效可靠的方式來監(jiān)測和優(yōu)化關鍵的工藝參數(shù)?！竞诵募夹g】防脫落專利技術：TCWafer晶圓測溫系統(tǒng)在高溫、真空或強振動環(huán)628瀏覽量
