動(dòng)態(tài)
-
發(fā)布了文章 2025-01-08 15:06
如何提高半導(dǎo)體設(shè)備防震基座的制造效率?
如何提高半導(dǎo)體設(shè)備防震基座的制造效率?-江蘇泊蘇系統(tǒng)集成有限公司提高半導(dǎo)體設(shè)備防震基座的制造效率是一個(gè)綜合性的過(guò)程,需要從多個(gè)方面進(jìn)行優(yōu)化和改進(jìn),以下是一些可行的方法:1,優(yōu)化生產(chǎn)流程(1)價(jià)值流分析:對(duì)整個(gè)制造流程進(jìn)行價(jià)值流分析,識(shí)別出增值和非增值環(huán)節(jié)。例如,去除不必要的等待時(shí)間、運(yùn)輸距離和過(guò)度加工步驟??赡馨l(fā)現(xiàn)原材料在倉(cāng)庫(kù)等待搬運(yùn)至生產(chǎn)線的時(shí)間過(guò)長(zhǎng),通過(guò)633瀏覽量 -
發(fā)布了方案 2025-01-07 15:13
泊蘇 Type C 系列防震基座在半導(dǎo)體光刻加工電子束光刻設(shè)備的應(yīng)用案例
某大型半導(dǎo)體制造企業(yè)專(zhuān)注于高端芯片的研發(fā)與生產(chǎn),其電子束光刻設(shè)備在芯片制造的光刻工藝中起著關(guān)鍵作用。然而,企業(yè)所在園區(qū)周邊存在眾多工廠,日常生產(chǎn)活動(dòng)產(chǎn)生復(fù)雜的振動(dòng)源,包括重型機(jī)械運(yùn)轉(zhuǎn)、車(chē)輛行駛以及建筑物內(nèi)部的機(jī)電設(shè)備運(yùn)行等,這些振動(dòng)嚴(yán)重影響了電子束光刻設(shè)備的精度與穩(wěn)定性。 -
發(fā)布了文章 2025-01-07 15:09
-
發(fā)布了文章 2025-01-06 16:48
-
發(fā)布了文章 2025-01-06 16:45
-
發(fā)布了文章 2025-01-03 16:32
防震基座安裝施工過(guò)程中如何保證基座的水平度?
在防震基座安裝施工過(guò)程中,保證基座水平度至關(guān)重要,可從施工前準(zhǔn)備、安裝過(guò)程控制到施工后檢查等多方面采取措施,具體如下:915瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2025-01-03 16:28
泊蘇防震基座成功解決無(wú)塵車(chē)間設(shè)備振動(dòng)問(wèn)題的方案
某半導(dǎo)體制造企業(yè)的無(wú)塵車(chē)間內(nèi),光刻設(shè)備在運(yùn)行過(guò)程中受到不明原因的振動(dòng)干擾,導(dǎo)致光刻精度下降,產(chǎn)品良率從原本的 90% 降低至 70%,嚴(yán)重影響了生產(chǎn)效益和產(chǎn)品質(zhì)量。732瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2025-01-02 15:29
無(wú)塵車(chē)間半導(dǎo)體制造設(shè)備的振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)
半導(dǎo)體制造設(shè)備對(duì)振動(dòng)極為敏感,不同的設(shè)備及工藝對(duì)振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)要求也有所不同。一般來(lái)說(shuō),無(wú)塵車(chē)間半導(dǎo)體制造設(shè)備的振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)主要從振動(dòng)頻率、振幅等方面進(jìn)行考量: 1,光刻設(shè)備 (1)振動(dòng)頻率:通常要求在 1-100Hz 范圍內(nèi),振動(dòng)加速度均方根值需低于 10-50μm/s2。對(duì)于極紫外光刻(EUV)等先進(jìn)光刻技術(shù),要求可能更嚴(yán)格,在某些關(guān)鍵頻段甚至要低于 10μ1.8k瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2025-01-02 15:23
如何降低半導(dǎo)體制造無(wú)塵車(chē)間設(shè)備振動(dòng)問(wèn)題的影響?
要降低無(wú)塵車(chē)間設(shè)備振動(dòng)問(wèn)題的影響,需要從設(shè)備選型與安裝、振動(dòng)監(jiān)測(cè)與控制、車(chē)間環(huán)境管理等方面綜合采取措施,以下是具體方法:1.6k瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2024-12-31 16:11
如何有效解決無(wú)塵車(chē)間半導(dǎo)體制造設(shè)備周邊環(huán)境的振動(dòng)源
要有效解決無(wú)塵車(chē)間半導(dǎo)體制造設(shè)備周邊環(huán)境的振動(dòng)源,需要從振動(dòng)源的識(shí)別與評(píng)估、主動(dòng)控制、被動(dòng)隔振、日常監(jiān)測(cè)與維護(hù)等方面入手,以下是具體措施:691瀏覽量