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中芯1.2億美元下單最先進(jìn)EUV光刻機(jī)

jXID_bandaotigu ? 來(lái)源:未知 ? 作者:李倩 ? 2018-09-05 15:24 ? 次閱讀
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有人爆料稱(chēng)光刻巨頭ASML受到美國(guó)政府限制,不能招收中國(guó)員工。這家公司連忙回應(yīng):謠言,ASML招人的時(shí)候一般不會(huì)有國(guó)籍限制。

兩頭大象打貿(mào)易戰(zhàn),勝負(fù)未分之前,小螞蟻是絕對(duì)不敢公然站隊(duì)的。

美國(guó)施壓,不是空穴來(lái)風(fēng)

關(guān)鍵崗位,沒(méi)有中國(guó)人

雖然沒(méi)有在普通崗位傷拒絕中國(guó)人。

但是,某些在美國(guó)本土開(kāi)發(fā)的高新技術(shù),包括中國(guó)在內(nèi)的大約二十個(gè)國(guó)家的人需要先獲得美國(guó)的相關(guān)許可證,ASML才能將其招進(jìn)這些技術(shù)的相關(guān)團(tuán)隊(duì)。

而且,目前審批流程比以前更長(zhǎng)了。

一次次的劇情反轉(zhuǎn),只能說(shuō)明一個(gè)事,美國(guó)施壓搞中國(guó),絕對(duì)不是空穴來(lái)風(fēng)。

雖然ASML技術(shù)獨(dú)一份,但它也不能獨(dú)立生產(chǎn)光刻機(jī)核心部件,他們的激光發(fā)生器是美國(guó)公司供應(yīng)的,美國(guó)政府真要限制它的話(huà),ASML也必須看人臉色。

當(dāng)然,話(huà)說(shuō)回來(lái),即便ASML沒(méi)有使用任何美國(guó)公司的部件,特朗普政府也一樣可以限制ASML公司。

并且,美國(guó)早就在這么做了。

嚴(yán)格控制數(shù)量

中興事件向中國(guó)網(wǎng)民科普半導(dǎo)體技術(shù)的重要性,而光刻機(jī)就是生產(chǎn)芯片的核心設(shè)備。

荷蘭ASML公司幾乎壟斷了全球高端光刻機(jī)市場(chǎng)。

以至于中芯國(guó)際幾乎耗盡2017年的全部利潤(rùn),向ASML購(gòu)買(mǎi)了一臺(tái)價(jià)值1.2億美元的EUV光刻設(shè)備,這也是目前最先進(jìn)的光刻機(jī)。

頂級(jí)光刻機(jī)的產(chǎn)量極低,ASML在4月的財(cái)報(bào)會(huì)議上稱(chēng),即使擴(kuò)大產(chǎn)能,今年也只能交付20臺(tái)EUV光刻機(jī)。

而中芯國(guó)際訂購(gòu)的那臺(tái)EUV光刻機(jī),要等到2019年才能交付。

從2018年到2019年,40臺(tái)的產(chǎn)量,中國(guó)費(fèi)盡心思,只買(mǎi)到了一臺(tái)。

單看數(shù)字沒(méi)什么概念,我們挪到其他領(lǐng)域看一個(gè)例子。

到貨的中端光刻機(jī)

買(mǎi)到也是一種痛苦

手機(jī)的物料成本里,最貴的不是芯片,而是屏幕。iPhoneX的OLED屏幕成本高達(dá)130美元,這幾乎達(dá)到了iPhoneX物料成本的三分之一。

三星公司雖然因?yàn)檎C(jī)事件損失慘重,但是通過(guò)內(nèi)存漲價(jià)和高價(jià)銷(xiāo)售OLED面板,不僅沒(méi)有虧損,反而比以前利潤(rùn)更多。

既然OLED屏幕這么賺錢(qián),為什么其他幾十家面板企業(yè)不趕緊上OLED生產(chǎn)線(xiàn)呢?

不是面板廠(chǎng)不想生產(chǎn),而是生產(chǎn)OLED的很多設(shè)備都要從國(guó)外進(jìn)口。其中,OLED屏幕生產(chǎn)最核心的環(huán)節(jié)是真空蒸鍍。

這個(gè)環(huán)節(jié),就相當(dāng)于ASML光刻機(jī)之于芯片生產(chǎn)。而全世界基本上只有一家日本公司可以生產(chǎn)OLED蒸鍍機(jī)。

其他企業(yè)沒(méi)有任何一家可以達(dá)到OLED 屏幕生產(chǎn)所需的精準(zhǔn)度。

EUV光刻機(jī)產(chǎn)量也只有一年十幾臺(tái)。同樣,頂級(jí)的OLED蒸鍍機(jī)產(chǎn)量也很低,即使我們?cè)敢饣ɑㄌ靸r(jià),也很難買(mǎi)到。

為什么三星公司在OLED 屏幕面板行業(yè)市場(chǎng)占有率那么高呢?

因?yàn)槿枪灸苜I(mǎi)到足夠多的蒸鍍機(jī),因?yàn)轫n國(guó)不受《瓦森納協(xié)定》的制約,因?yàn)轫n國(guó)沒(méi)有被封鎖。

京東方公司費(fèi)盡力氣才買(mǎi)到一臺(tái),大部分產(chǎn)量仍然屬于三星。

隨著我國(guó)很多面板企業(yè)的生產(chǎn)線(xiàn)逐漸建成,LCD面板價(jià)格必然大幅下跌。OLED 面板利潤(rùn)極其豐厚,可惜我國(guó)企業(yè)買(mǎi)不到足夠的蒸鍍機(jī)。

大家都知道,有個(gè)詞叫規(guī)模效應(yīng),由于可以買(mǎi)到足夠的核心設(shè)備,三星的OLED 產(chǎn)能是京東方的幾十倍。

即使賣(mài)同一個(gè)價(jià)格,三星可以大把大把的賺錢(qián),京東方則可能虧錢(qián)。

中芯國(guó)際也一樣,很長(zhǎng)一段時(shí)間內(nèi),這臺(tái)EUV光刻機(jī)都會(huì)是它業(yè)績(jī)上的拖累。

不急的兔子不咬人

EUV光刻機(jī)最大年產(chǎn)量不過(guò)20臺(tái),財(cái)大氣粗的高通,臺(tái)積電,三星,英特爾為什么不把這些設(shè)備全部都買(mǎi)了,然后獨(dú)占這一市場(chǎng)呢?

兔子急了都咬人呢?更何況是年?duì)I業(yè)額幾百億的芯片企業(yè)。

一臺(tái)都不賣(mài)給你,你可以拿著利潤(rùn)去自主研發(fā),痛幾年,說(shuō)不定就緩過(guò)來(lái)了。

故意漏一兩臺(tái)設(shè)備給你,耗著精力,起不來(lái)規(guī)模的時(shí)候,你只能虧損。

等到你發(fā)覺(jué)的時(shí)候,已經(jīng)砸了幾千億進(jìn)去了,擺在你面前唯一的選擇就是扎到中低端續(xù)命。

這樣的悲劇,簡(jiǎn)直不要太多。

90年代營(yíng)業(yè)額超過(guò)100億的安彩集團(tuán),在盈利的顯像管業(yè)務(wù)和虧損的液晶面板業(yè)務(wù)中選擇了顯像管,最后到了破產(chǎn)邊緣。

連續(xù)七年穩(wěn)居國(guó)產(chǎn)手機(jī)銷(xiāo)量第一寶座的波導(dǎo)手機(jī),在盈利的普通手機(jī)和虧損的智能機(jī)中選擇了盈利,從“手機(jī)中的戰(zhàn)斗機(jī)”,變成了主打大屏大字的老人機(jī)。

資產(chǎn)雄厚的幾大國(guó)有汽車(chē)企業(yè),在盈利的合資業(yè)務(wù)和虧損的自有品牌中,全心全意的扎入合資車(chē)的生產(chǎn)和推廣,合資了幾十年,依舊沒(méi)有絲毫起色。

不施壓,還以為你是好人呢

ASML的辟謠稍稍解讀一下就是,不是這次施壓,壓力是一直存在的。

不僅限制中國(guó)人進(jìn)入關(guān)鍵崗位,還通過(guò)精心控制的設(shè)備數(shù)量來(lái)拖累中國(guó)企業(yè)。

更為關(guān)鍵的是,這臺(tái)EUV光刻機(jī)僅僅是訂購(gòu),美國(guó)隨時(shí)可以批駁荷蘭中止交易。

2000年美國(guó)攪黃以色列為中國(guó)提供“費(fèi)爾康”雷達(dá)系統(tǒng)。

2004年美國(guó)直接攪黃了捷克賣(mài)給我國(guó)的無(wú)源雷達(dá)設(shè)備。

前些年,美國(guó)又以可能泄漏核心技術(shù)為由阻止了中國(guó)和芬蘭的驅(qū)逐艦交易。

美國(guó)這次對(duì)中國(guó)圍追堵截也算盡心盡力了,其實(shí)反過(guò)來(lái)說(shuō)明中國(guó)的強(qiáng)大。

但中國(guó)韜光養(yǎng)晦幾十年,也不是吃干飯的。

即使給中國(guó)高科技制造添堵,中國(guó)還是中國(guó),日子難過(guò)點(diǎn),怕啥,我們不就是從一窮二白走過(guò)來(lái)的嗎?大不了再辛苦幾十年就是!

更何況,我們已經(jīng)不是一窮二白了。

重要性?xún)H次于光刻機(jī)的刻蝕機(jī),中國(guó)的狀況要好很多,16nm刻蝕機(jī)已經(jīng)量產(chǎn)運(yùn)行,7-10nm刻蝕機(jī)也在路上了,所以美帝很貼心的解除了對(duì)中國(guó)刻蝕機(jī)的封鎖。

國(guó)內(nèi)光刻機(jī)廠(chǎng)商當(dāng)中,處于技術(shù)領(lǐng)先的上海微電子裝備有限公司已量產(chǎn)的光刻機(jī),在技術(shù)上已經(jīng)接近國(guó)際中流水平。

所以,繼續(xù)封鎖吧,你不狠一點(diǎn),有些中國(guó)人還把你當(dāng)好人呢!

來(lái)看今天的熱門(mén)話(huà)題,“美軍:敗給中國(guó)只有這一條可能性,但這條紅線(xiàn)美國(guó)幾十年不敢碰”,近日,美國(guó)智庫(kù)一項(xiàng)報(bào)告痛貶美國(guó)政府,稱(chēng)“中美之間存在一條紅線(xiàn), 一旦越過(guò)這條紅線(xiàn),美國(guó)將會(huì)輸?shù)襞c中國(guó)的戰(zhàn)爭(zhēng)?!边@條紅線(xiàn)美國(guó)幾十年都不敢碰。這條紅線(xiàn)究竟是什么呢?

網(wǎng)友有話(huà):

@寒冥

封鎖不可怕,可怕的是那個(gè)無(wú)底洞,你有沒(méi)有足夠的資金投入進(jìn)去,有沒(méi)有勇氣堅(jiān)持攻關(guān),能不能承受的住那種做出來(lái)后發(fā)現(xiàn)精度沒(méi)有對(duì)方高,產(chǎn)量跟不上,成本還居高不下,沒(méi)有市場(chǎng),前路一片灰暗,資金回收不回來(lái),又或者在投入許多資金之后,剛有點(diǎn)氣色時(shí),對(duì)方突然說(shuō)愿意降價(jià)賣(mài)給你,或合資搞研發(fā)。只能說(shuō),那些成功突破封鎖線(xiàn)的巨匠他們都是偉大的,同時(shí)那些還在路上的也一樣偉大,其中的心酸大概只有他們自己知道,為他們默默點(diǎn)贊!

@請(qǐng)叫我雷鋒

最后一句說(shuō)的太對(duì)了,總有些腦殘的國(guó)人還以為他們的美國(guó)粑粑對(duì)中國(guó)多好多好,再等個(gè)一年半載的眼前這種小制裁不管用了,他們就會(huì)使用更殘忍的手段來(lái)對(duì)付我們中國(guó),只有自己強(qiáng)大了,才能不在懼怕任何國(guó)家的任何手段,雖然我們這些平頭小老百姓幫不上太多忙,但是更不該給我們的國(guó)家抹黑和添亂!

中芯1.2億美元下單最先進(jìn)EUV光刻機(jī)

據(jù)《日經(jīng)亞洲評(píng)論》(Nikkei Asian Review)援引消息人士的話(huà)稱(chēng),中國(guó)芯片加工企業(yè)中芯國(guó)際(SMIC)今年5月向全球最大的芯片設(shè)備制造商——荷蘭ASML訂購(gòu)了首臺(tái)最先進(jìn)的EUV(極紫外線(xiàn))光刻機(jī),價(jià)值1.2億美元。目前,業(yè)內(nèi)已達(dá)成共識(shí),必須使用EUV光刻機(jī)才能使半導(dǎo)體芯片進(jìn)入7nm,甚至5nm時(shí)代。今天,中芯國(guó)際方面對(duì)觀(guān)察者網(wǎng)表示,對(duì)此事不做評(píng)論。

消息稱(chēng),這臺(tái)幾乎相當(dāng)于中芯國(guó)際去年全部?jī)衾麧?rùn)的設(shè)備,將于2019年前交付。

ASML發(fā)言人對(duì)《日經(jīng)亞洲評(píng)論》表示,該企業(yè)對(duì)包括中國(guó)客戶(hù)在內(nèi)的全球客戶(hù)都一視同仁。而且,向中國(guó)出售EUV光刻機(jī)并沒(méi)有違反《瓦森納協(xié)定》(the Wassenaar Arrangement)(下稱(chēng):《協(xié)定》)。

半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)家莫大康對(duì)此分析稱(chēng),“1.2億美元加上配套是個(gè)大投資,是為研發(fā)作好準(zhǔn)備。在到貨之前,尚不能說(shuō)ok,因?yàn)樵O(shè)備出口許可證,ASML說(shuō)了不算,還要聽(tīng)美國(guó)的”。

中芯國(guó)際員工在上海晶圓廠(chǎng)

據(jù)消息人士透露,作為內(nèi)地規(guī)模最大、技術(shù)最先進(jìn)的芯片制造企業(yè),中芯國(guó)際是在美國(guó)4月份對(duì)中興通訊制裁后下達(dá)的訂單。

他還表示,中芯國(guó)際在采購(gòu)此價(jià)格不菲的設(shè)備上,獲得了來(lái)自中國(guó)政府方面的資金支持。

觀(guān)察者網(wǎng)注意到,對(duì)比這臺(tái)EUV光刻機(jī)的價(jià)值,中芯國(guó)際去年凈利潤(rùn)僅為1.264億美元。

TWINSCAN NXE:3400B EUV光刻機(jī)。截圖自ASML官網(wǎng)

ASML是世界上唯一一個(gè)能夠制造EUV光刻機(jī)的廠(chǎng)商,并且產(chǎn)量極低。其全部產(chǎn)能早在生產(chǎn)之前就被預(yù)訂一空。

在中美貿(mào)易爭(zhēng)端之際,中芯國(guó)際向ASML下訂單,將不僅使中國(guó)企業(yè)縮小與芯片市場(chǎng)領(lǐng)導(dǎo)者的代差,同時(shí)也能保證對(duì)華關(guān)鍵設(shè)備的供應(yīng)。

值得注意的是,ASML在4月中旬舉行的財(cái)報(bào)會(huì)議上公開(kāi)稱(chēng),今年計(jì)劃有20臺(tái)EUV光刻機(jī)交付,但并沒(méi)有說(shuō)明訂單詳情。

不過(guò),ASML客戶(hù)包括英特爾、三星和臺(tái)積電等國(guó)際芯片巨頭,EUV光刻機(jī)也將確保上述企業(yè)保持在芯片領(lǐng)域的領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)。

根據(jù)《日經(jīng)亞洲評(píng)論》提供的數(shù)據(jù),今年,臺(tái)積電已經(jīng)向ASML訂購(gòu)接近10臺(tái)EUV光刻機(jī),三星約為6臺(tái),英特爾為3臺(tái)。

另外,該報(bào)道作者還認(rèn)為,雖然中芯國(guó)際的技術(shù)落后三星、臺(tái)積電兩到三代,并且現(xiàn)在還在28nm和14nm制程上掙扎,但是中芯國(guó)際購(gòu)買(mǎi)其第一臺(tái)EUV光刻機(jī)的舉動(dòng),凸顯了其提升中國(guó)自主半導(dǎo)體制造的決心。

事實(shí)上,EUV光刻機(jī)作為現(xiàn)今最先進(jìn)的芯片制造設(shè)備,是唯一能夠生產(chǎn)7nm以下制程,因此,其也被稱(chēng)為“突破摩爾定律的救星”。

從2019年半導(dǎo)體芯片將進(jìn)入7nm時(shí)代開(kāi)始(現(xiàn)在處于10nm時(shí)代),EUV光刻機(jī)可以被稱(chēng)為戰(zhàn)略性設(shè)備,沒(méi)有就會(huì)使芯片制造寸步難行。

“中芯提前布局7nm是件好事”

《日經(jīng)亞洲評(píng)論》報(bào)道稱(chēng),目前,幾家領(lǐng)先的芯片制造商仍在努力安裝和測(cè)試EUV光刻機(jī)。但由于還沒(méi)有成功生產(chǎn)7nm以下制程芯片的經(jīng)驗(yàn),仍有很多挑戰(zhàn)需要克服。

工藝尺寸越小,開(kāi)發(fā)越昂貴且難度越大,當(dāng)然芯片性能也越強(qiáng)大。

報(bào)道提到,目前,蘋(píng)果iPhone X和iPhone 8系列的核心處理器采用了臺(tái)積電的10nm工藝,今年新款iPhone的處理器預(yù)計(jì)將采用7nm工藝。

如今,業(yè)內(nèi)已達(dá)成共識(shí),更尖端的芯片制造工藝將小于5nm,并且必須使用EUV光刻機(jī)才能實(shí)現(xiàn)。

有分析師稱(chēng),盡管代價(jià)高昂,并且需要很長(zhǎng)時(shí)間追趕對(duì)手,但是中芯國(guó)際不會(huì)放棄投資半導(dǎo)體技術(shù)。

據(jù)中芯國(guó)際CEO趙海軍透露,今年將全年資本支出從19億美元上調(diào)至23億美元,用于先進(jìn)制程的研發(fā)、設(shè)備開(kāi)支以及擴(kuò)充產(chǎn)能。

他預(yù)測(cè),未來(lái)幾年,中國(guó)芯片設(shè)計(jì)廠(chǎng)商數(shù)量每年將增長(zhǎng)20%。

“中芯國(guó)際已處于有利位置,將抓住有潛力的市場(chǎng),并通過(guò)加速發(fā)展制造工藝,擴(kuò)大可預(yù)期的市場(chǎng)空間”。

一位接近中芯的業(yè)內(nèi)人士坦言, 中芯國(guó)際對(duì)未來(lái)先進(jìn)工藝做儲(chǔ)備是意料之中的,也證明該公司對(duì)未來(lái)發(fā)展的路徑非常清晰。

另外,莫大康指出,中芯有錢(qián)提前布局7nm是件好事。目前該設(shè)備實(shí)用性方面還有一些問(wèn)題,所以需要做許多配套工作。

“對(duì)于中芯來(lái)說(shuō),要從人員培訓(xùn)開(kāi)始,正好是個(gè)學(xué)習(xí)機(jī)會(huì),等中芯能做7nm可能至少5年以上,還趕得上”。

《瓦森納協(xié)定》嚴(yán)重影響我國(guó)高科技國(guó)際合作

本文開(kāi)頭所提到的《協(xié)定》,全稱(chēng)為《關(guān)于常規(guī)武器和兩用物品及技術(shù)出口控制的瓦森納安排》,是世界主要的工業(yè)設(shè)備和武器制造國(guó)在巴黎統(tǒng)籌委員會(huì)解散后,于1996年成立的一個(gè)旨在控制常規(guī)武器和高新技術(shù)貿(mào)易的國(guó)際性組織。

《協(xié)定》擁有33個(gè)成員國(guó),中國(guó)不在其列,其主要目的是阻止關(guān)鍵技術(shù)和元器件流失到成員國(guó)之外。

值得注意的是,《協(xié)定》雖然允許成員國(guó)在自愿的基礎(chǔ)上對(duì)各自的技術(shù)出口實(shí)施控制,但實(shí)際上,成員國(guó)在重要的技術(shù)出口決策上受到美國(guó)的影響。

而中國(guó)、朝鮮、伊朗、利比亞等國(guó)均在被限制國(guó)家名單之中。

不難想象,這嚴(yán)重影響了我國(guó)與其成員國(guó)之間開(kāi)展的高技術(shù)國(guó)際合作。

譬如,作為《協(xié)定》成員國(guó)之一的日本,出于政治和經(jīng)濟(jì)的需要,也一直對(duì)中日兩國(guó)高技術(shù)合作與交流持消極、謹(jǐn)慎的態(tài)度。

而在半導(dǎo)體領(lǐng)域,受限于《協(xié)定》,從芯片設(shè)計(jì)、生產(chǎn)等多個(gè)領(lǐng)域,中國(guó)都不能獲取到國(guó)外的最新科技。

臺(tái)積電創(chuàng)始人張忠謀,有“芯片大王”、“***半導(dǎo)體教父”之稱(chēng)

騰訊財(cái)經(jīng)此前報(bào)道,臺(tái)積電2016年在南京獨(dú)資設(shè)立16nm制程12英寸晶圓廠(chǎng)前,受到了美國(guó)的百般阻撓。

但最終,國(guó)民黨借助當(dāng)時(shí)在臺(tái)“立法院”的優(yōu)勢(shì),艱難地通過(guò)了南京晶圓廠(chǎng)的投資審核。

不止臺(tái)積電,包括三星、英特爾在內(nèi)的半導(dǎo)體三巨頭均受到《協(xié)定》框架的約束,而“三巨頭”也壟斷了全球的高端芯片制造。

另外,值得一提的是,15日,路透社報(bào)道援引三星一名高管的話(huà)稱(chēng),他們正與包括中興在內(nèi)的數(shù)家智能手機(jī)制造商洽談移動(dòng)處理器芯片供應(yīng)業(yè)務(wù)。

三星電子隨后在一份聲明中對(duì)稱(chēng),尚不能確定能與中興達(dá)成協(xié)議,其政策是對(duì)待所有廠(chǎng)商或者所有客戶(hù)一視同仁。

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原文標(biāo)題:封鎖升級(jí)!光刻巨頭“拒招”中國(guó)人,美國(guó)想要鎖死中國(guó)技術(shù)未來(lái)

文章出處:【微信號(hào):bandaotiguancha,微信公眾號(hào):半導(dǎo)體觀(guān)察IC】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

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    的頭像 發(fā)表于 10-28 08:53 ?5452次閱讀

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    的頭像 發(fā)表于 10-04 03:18 ?9103次閱讀
    俄羅斯亮劍:公布<b class='flag-5'>EUV</b><b class='flag-5'>光刻機(jī)</b>路線(xiàn)圖,挑戰(zhàn)ASML霸主地位?

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    的頭像 發(fā)表于 10-10 17:36 ?550次閱讀

    【「AI芯片:科技探索與AGI愿景」閱讀體驗(yàn)】+半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)的前沿技術(shù)

    %。至少將GAA納米片提升幾個(gè)工藝節(jié)點(diǎn)。 2、晶背供電技術(shù) 3、EUV光刻機(jī)與其他競(jìng)爭(zhēng)技術(shù) 光刻技術(shù)是制造3nm、5nm等工藝節(jié)點(diǎn)的高端半導(dǎo)體芯片的關(guān)鍵技術(shù)。是將設(shè)計(jì)好的芯片版圖圖形轉(zhuǎn)移到硅晶圓上的一種精細(xì)
    發(fā)表于 09-15 14:50

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    發(fā)表于 05-07 06:03

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    的頭像 發(fā)表于 04-07 09:24 ?1043次閱讀

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    的頭像 發(fā)表于 02-18 09:31 ?1599次閱讀
    <b class='flag-5'>EUV</b><b class='flag-5'>光刻</b>技術(shù)面臨新挑戰(zhàn)者

    光刻機(jī)用納米位移系統(tǒng)設(shè)計(jì)

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    的頭像 發(fā)表于 02-06 09:38 ?816次閱讀
    <b class='flag-5'>光刻機(jī)</b>用納米位移系統(tǒng)設(shè)計(jì)

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    的頭像 發(fā)表于 01-20 09:44 ?2006次閱讀
    如何提高<b class='flag-5'>光刻機(jī)</b>的NA值

    光刻機(jī)的分類(lèi)與原理

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    的頭像 發(fā)表于 01-16 09:29 ?5274次閱讀
    <b class='flag-5'>光刻機(jī)</b>的分類(lèi)與原理

    納米壓印光刻技術(shù)旨在與極紫外光刻EUV)競(jìng)爭(zhēng)

    芯片制造、價(jià)值1.5美元的極紫外(EUV,https://spectrum.ieee.org/tag/euv光刻掃描
    的頭像 發(fā)表于 01-09 11:31 ?1000次閱讀

    組成光刻機(jī)的各個(gè)分系統(tǒng)介紹

    ? 本文介紹了組成光刻機(jī)的各個(gè)分系統(tǒng)。 光刻技術(shù)作為制造集成電路芯片的重要步驟,其重要性不言而喻。光刻機(jī)是實(shí)現(xiàn)這一工藝的核心設(shè)備,它的工作原理類(lèi)似于傳統(tǒng)攝影的曝光過(guò)程,但精度要求極高
    的頭像 發(fā)表于 01-07 10:02 ?3746次閱讀
    組成<b class='flag-5'>光刻機(jī)</b>的各個(gè)分系統(tǒng)介紹

    日本首臺(tái)EUV光刻機(jī)就位

    本月底完成。 Rapidus 計(jì)劃 2025 年春季使用最先進(jìn)的 2 納米工藝開(kāi)發(fā)原型芯片,于 2027 年開(kāi)始大規(guī)模生產(chǎn)芯片。 EUV 機(jī)器結(jié)合了特殊光源、鏡頭和其他技術(shù),可形成超精細(xì)電路圖案。該系統(tǒng)體積小,不易受到振動(dòng)和其他干擾。 ASML 是全球唯一的
    的頭像 發(fā)表于 12-20 13:48 ?1313次閱讀
    日本首臺(tái)<b class='flag-5'>EUV</b><b class='flag-5'>光刻機(jī)</b>就位

    用來(lái)提高光刻機(jī)分辨率的浸潤(rùn)式光刻技術(shù)介紹

    時(shí),摩爾定律開(kāi)始面臨挑戰(zhàn)。一些光刻機(jī)巨頭選擇了保守策略,寄希望于F2準(zhǔn)分子光源157nm波長(zhǎng)的干式光刻技術(shù)。2002年,浸潤(rùn)式光刻的構(gòu)想被提出,即利用水作為介質(zhì),通過(guò)光在液體的折射特
    的頭像 發(fā)表于 11-24 11:04 ?3985次閱讀
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    ? 本文介紹了光刻機(jī)在芯片制造的角色和地位,并介紹了光刻機(jī)的工作原理和分類(lèi)。? ? ? ?? 光刻機(jī):芯片制造的關(guān)鍵角色 ? ? 光刻機(jī)
    的頭像 發(fā)表于 11-24 09:16 ?6916次閱讀