引言

核工業(yè)、航空航天等高端裝備領(lǐng)域?qū)毫y(cè)量的精度、穩(wěn)定性及抗極端環(huán)境能力提出了極為嚴(yán)苛的要求。傳統(tǒng)應(yīng)變式、電容式傳感器在核環(huán)境中面臨精度衰減、抗振動(dòng)能力不足等問(wèn)題。石英諧振壓力傳感器基于石英晶體的固有諧振特性，通過(guò)頻率信號(hào)輸出實(shí)現(xiàn)數(shù)字化測(cè)量，從原理上規(guī)避了模擬信號(hào)干擾風(fēng)險(xiǎn)，成為核工業(yè)安全監(jiān)測(cè)的理想選擇。

石英壓力傳感器在核工業(yè)安全監(jiān)測(cè)中的關(guān)鍵應(yīng)用

2.1反應(yīng)堆壓力容器壓力監(jiān)測(cè)

核反應(yīng)堆壓力容器的壓力波動(dòng)直接反映堆芯狀態(tài)，需要實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)以避免超壓事故。石英諧振壓力傳感器憑借其高精度與長(zhǎng)期穩(wěn)定性，可實(shí)時(shí)追蹤壓力變化，精度達(dá)0.01%FS，響應(yīng)時(shí)間＜1ms。晨穹RPS01系列通過(guò)環(huán)形應(yīng)力橋結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，靈敏度較傳統(tǒng)應(yīng)變式提升數(shù)倍，且支持10kPa超低量程測(cè)量，可精準(zhǔn)捕捉微小壓力異常。實(shí)際應(yīng)用案例表明，該傳感器曾通過(guò)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)反饋，提前預(yù)警了因冷卻劑泄漏導(dǎo)致的壓力下降，避免了潛在事故。

2.2核管道泄漏檢測(cè)

核管道泄漏可能引發(fā)放射性物質(zhì)擴(kuò)散，需要快速定位漏點(diǎn)。石英諧振傳感器的高分辨率（如晨穹產(chǎn)品分辨率達(dá)0.001%FS）可識(shí)別微小壓力波動(dòng)，結(jié)合分布式監(jiān)測(cè)網(wǎng)絡(luò)，實(shí)現(xiàn)泄漏點(diǎn)的毫米級(jí)定位。其全隔離式電路設(shè)計(jì)可有效抑制電磁干擾，確保在復(fù)雜電磁環(huán)境下的信號(hào)可靠性。

2.3放射性物質(zhì)運(yùn)輸監(jiān)控

在放射性物質(zhì)運(yùn)輸過(guò)程中，壓力傳感器需承受振動(dòng)、沖擊等動(dòng)態(tài)載荷。晨穹傳感器采用懸臂梁諧振器結(jié)構(gòu)，通過(guò)有限元分析優(yōu)化支撐點(diǎn)布局，抗沖擊能力達(dá)200g，同時(shí)通過(guò)一級(jí)懸?。ㄒ龎汗苋嵝赃B接）與二級(jí)懸?。ê诵哪K彈性懸掛）設(shè)計(jì)，隔離90%以上安裝應(yīng)力。在實(shí)際應(yīng)用中，該傳感器通過(guò)實(shí)時(shí)壓力監(jiān)測(cè)，確保運(yùn)輸過(guò)程中容器密封性符合國(guó)際原子能機(jī)構(gòu)(IAEA)標(biāo)準(zhǔn)。

國(guó)內(nèi)廠家的技術(shù)創(chuàng)新與應(yīng)用實(shí)踐

3.1晨穹電子科技的技術(shù)突破

晨穹電子科技通過(guò)多項(xiàng)技術(shù)創(chuàng)新，顯著提升了石英壓力傳感器的綜合性能：

1、材料與工藝創(chuàng)新：采用原子級(jí)薄膜沉積技術(shù)，實(shí)現(xiàn)石英基膜與金屬封裝的原子融合，抗振動(dòng)性能提升300%

2、智能化升級(jí)：集成高精度溫度探頭與自適應(yīng)算法，實(shí)現(xiàn)雙通道溫度補(bǔ)償，無(wú)需額外溫控裝置即可在-40℃～150℃寬溫域穩(wěn)定工作

3、國(guó)產(chǎn)化替代：突破歐美技術(shù)壟斷，實(shí)現(xiàn)100%自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)與批量化生產(chǎn)，單臺(tái)成本較進(jìn)口產(chǎn)品降低60%，交付周期縮短至3個(gè)月

3.2南京航空航天大學(xué)的學(xué)術(shù)貢獻(xiàn)

南京航空航天大學(xué)研究團(tuán)隊(duì)在石英諧振式壓力傳感器的基礎(chǔ)研究中取得了多項(xiàng)創(chuàng)新成果：

1、提出了多約束條件下高品質(zhì)因數(shù)高靈敏度諧振梁的設(shè)計(jì)方法，通過(guò)振動(dòng)衰減結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，削弱了振梁振動(dòng)系統(tǒng)的能量耗散，有效提升了振梁的品質(zhì)因數(shù)

2、提出了壓力-溫度雙諧振器集成全石英敏感結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)方法，實(shí)現(xiàn)了壓力測(cè)量原位溫度補(bǔ)償，有效降低了溫度梯度導(dǎo)致的壓力測(cè)量偏差

3、提出了基于石英微納加工技術(shù)的全石英敏感芯片制備及封裝工藝方法，通過(guò)基于玻璃漿料真空密封鍵合工藝，解決了帶有金屬薄膜三層石英同質(zhì)結(jié)構(gòu)鍵合問(wèn)題

技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)與展望

未來(lái)石英壓力傳感器的發(fā)展將聚焦于以下幾個(gè)方向：

1、更高集成度：通過(guò)QMEMS晶圓級(jí)加工技術(shù)，實(shí)現(xiàn)傳感器的小型化與集成化

2、更強(qiáng)環(huán)境適應(yīng)性：進(jìn)一步提升在極端環(huán)境（高溫、高壓、強(qiáng)輻射）下的性能穩(wěn)定性

3、更智能化：深度融合AI算法，實(shí)現(xiàn)自校準(zhǔn)、自診斷功能，提高系統(tǒng)可靠性

值得一提的是，國(guó)內(nèi)石英壓力傳感器產(chǎn)業(yè)已形成從材料、設(shè)計(jì)、制造到封裝的完整產(chǎn)業(yè)鏈，為高端裝備制造業(yè)的自主可控提供了堅(jiān)實(shí)保障。

結(jié)語(yǔ)

石英諧振壓力傳感器憑借其獨(dú)特的性能優(yōu)勢(shì)，在核工業(yè)安全監(jiān)測(cè)、航空航天等高端裝備領(lǐng)域具有不可替代的作用。國(guó)內(nèi)以晨穹電子科技為代表的企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)已在產(chǎn)品研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化方面取得顯著進(jìn)展，實(shí)現(xiàn)了高端壓力傳感器的國(guó)產(chǎn)化替代，為國(guó)家關(guān)鍵領(lǐng)域裝備的自主可控提供了有力支撐。

審核編輯 黃宇