半導(dǎo)體分立器件測(cè)試是對(duì)二極管、晶體管、晶閘管等獨(dú)立功能半導(dǎo)體器件的性能參數(shù)進(jìn)行系統(tǒng)性檢測(cè)的過程，旨在評(píng)估其電氣特性、可靠性和適用性。以下是主要測(cè)試內(nèi)容與方法的總結(jié)：

1. ?測(cè)試對(duì)象與分類?

半導(dǎo)體分立器件主要包括：

?二極管?（如整流二極管、肖特基二極管）

?三極管?（雙極型晶體管、場(chǎng)效應(yīng)管）

?晶閘管?（可控硅）

?功率器件?（IGBT、MOSFET）?

2. ?核心測(cè)試參數(shù)?

?電氣特性?：正向/反向電壓、漏電流、導(dǎo)通電阻?

?動(dòng)態(tài)性能?：開關(guān)時(shí)間、反向恢復(fù)時(shí)間（二極管）、跨導(dǎo)（FET）?

?熱特性?：溫度系數(shù)、熱阻?5

?極限參數(shù)?：擊穿電壓、最大電流、功率耗散?

3. ?測(cè)試方法?

?靜態(tài)測(cè)試?：使用源表（SMU）測(cè)量I-V曲線、閾值電壓等?

?動(dòng)態(tài)測(cè)試?：脈沖電源模擬開關(guān)動(dòng)作，測(cè)試上升/下降時(shí)間?

?四線制測(cè)試?：消除導(dǎo)線電阻影響，提升精度（如Vgsth測(cè)試）?

4. ?應(yīng)用領(lǐng)域?

?研發(fā)驗(yàn)證?：器件選型、失效分析?

?生產(chǎn)質(zhì)檢?：來料檢驗(yàn)（IQC）、老化測(cè)試?

?教育與科研?：高校實(shí)驗(yàn)室、參數(shù)數(shù)據(jù)庫建立?

半導(dǎo)體分立器件測(cè)試設(shè)備是針對(duì)二極管、晶體管、功率器件等獨(dú)立半導(dǎo)體元件的性能與可靠性進(jìn)行檢測(cè)的專用儀器系統(tǒng)，其核心功能涵蓋電氣參數(shù)測(cè)量、動(dòng)態(tài)特性分析及可靠性驗(yàn)證。以下是主要測(cè)試設(shè)備類型及其技術(shù)特點(diǎn)：

1. ?核心測(cè)試設(shè)備類型?

?分立器件測(cè)試儀?

支持高壓（最高3300V）、大電流（2500A）測(cè)試，適用于IGBT、SiC/GaN等功率器件?

集成四象限源表功能，可同步完成電壓施加與電流測(cè)量（精度達(dá)0.1fA）?

典型參數(shù)：主極電壓2000V、控制極電壓20V、測(cè)試速度5ms/參數(shù)?

?雙脈沖測(cè)試平臺(tái)?

用于功率器件的動(dòng)態(tài)特性分析，如開關(guān)時(shí)間、反向恢復(fù)特性?

需搭配高速示波器（帶寬≥500MHz）捕捉ns級(jí)瞬態(tài)波形?

?探針臺(tái)與測(cè)試座?

探針臺(tái)用于晶圓級(jí)測(cè)試，定位精度達(dá)0.001mm，支持多通道并行測(cè)試?

測(cè)試座需滿足高電流（1000A以上）接觸阻抗≤1mΩ，兼容T-247DFNSMD等封裝?

2. ?關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)與能力?

?靜態(tài)參數(shù)測(cè)試?：閾值電壓、導(dǎo)通電阻（Rds(on)）、漏電流等，采用開爾文四線制消除接觸電阻影響?

?動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試?：開關(guān)時(shí)間、反向恢復(fù)時(shí)間，需脈沖寬度≤10ns的測(cè)試信號(hào)?

?可靠性測(cè)試?：高溫反偏（HTRB）、溫度循環(huán)（-65~200℃）等，符合AEC-Q101標(biāo)準(zhǔn)?

3. ?行業(yè)應(yīng)用場(chǎng)景?

?研發(fā)驗(yàn)證?：通過四線制開爾文連接法優(yōu)化驅(qū)動(dòng)電路設(shè)計(jì)?

?量產(chǎn)篩選?：多工位老化板（如64工位）并行測(cè)試，提升效率?

?車規(guī)/工業(yè)級(jí)認(rèn)證?：需滿足JEDEC、AEC-Q101等標(biāo)準(zhǔn)?

SC2010半導(dǎo)體分立器件測(cè)試系統(tǒng)是一款國產(chǎn)高端晶體管參數(shù)測(cè)試設(shè)備，完美替代美國STI5000系列測(cè)試機(jī)。該系統(tǒng)采用ATE自動(dòng)測(cè)試技術(shù)，可精準(zhǔn)生成功率器件的I-V曲線，支持自定義功能測(cè)試方案，提供實(shí)時(shí)數(shù)顯結(jié)果。廣泛應(yīng)用于失效分析、來料檢驗(yàn)（IQC）及高校實(shí)驗(yàn)室等領(lǐng)域。通過高速數(shù)據(jù)采集（典型測(cè)試時(shí)間6~20ms）和逐點(diǎn)建圖技術(shù)，確保曲線數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠，上百個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)可在數(shù)秒內(nèi)完成測(cè)試，并支持Excel等格式導(dǎo)出分析。

系統(tǒng)采用USB/RS232接口連接電腦，通過直觀的人機(jī)界面實(shí)現(xiàn)全流程操作，測(cè)試數(shù)據(jù)可保存為Excel/Word格式。配備過電保護(hù)及門極保護(hù)適配器，集成自診斷測(cè)試代碼，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備狀態(tài)，保障測(cè)試結(jié)果可靠性。

審核編輯 黃宇