文章來源:Tom聊芯片智造
原文作者:Tom
本文介紹了超聲波的T-SAM與C-SAM兩種模式的區(qū)別。
	
什么是SAM?
SAM,Scanning acoustic microscope,超聲波掃描顯微鏡。SAM是一種非破壞性檢測技術(shù),在無需對樣品開蓋的前提下,就能“透視”封裝內(nèi)部結(jié)構(gòu)。避免了傳統(tǒng)破壞性方法可能引入的新?lián)p傷。
SAM的優(yōu)勢?
SAM對材料界面之間的聲阻抗差異非常敏感,尤其擅長檢測:封裝內(nèi)部的分層,氣隙、空洞、微裂紋,材料剝離或脫層;能識別厚度只有亞微米級的微小分層,這種靈敏度遠(yuǎn)超X射線。
T-SAM與C-SAM的區(qū)別?
	
如上圖,左圖是T-Scan,右圖為C-Scan。
| 類型 | C-SAM(反射模式) | T-SAM(透射模式) | 
|---|---|---|
| 成像原理 | 超聲波入射 → 被界面反射 → 被同一個(gè)換能器接收回波 | 超聲波穿過樣品 → 被下方換能器接收 | 
| 換能器配置 | 單個(gè)換能器 同時(shí)發(fā)射和接收 | 兩個(gè)換能器 上下布置,分別負(fù)責(zé)發(fā)射和接收 | 
| 探測方式 | 探測界面回波(如分層/氣泡) | 探測能否穿透、穿透強(qiáng)度(識別材料密度變化) | 
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原文標(biāo)題:T-SAM與C-SAM如何“看穿”封裝缺陷的?
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