本文從應(yīng)用、原理和主要技術(shù)三個方面簡單介紹激光測溫法。
激光測溫應(yīng)用
激光測溫是溫度量測中的一個新分支,以滿足越來越高質(zhì)量控制的要求。利用各種光學(xué)現(xiàn)象,目前有多種光學(xué)測溫方法。
激光測溫法應(yīng)用在金屬制造,半導(dǎo)體加工過程包括等離子蝕刻、光刻、薄膜生長等領(lǐng)域。
激光測溫原理
每一種激光測溫法,都是非接觸測量材料的溫度相關(guān)光學(xué)參數(shù),然后根據(jù)相關(guān)參數(shù)模型推算溫度。
材料的溫度相關(guān)參數(shù),例如,可以是折射率、尺寸、電子帶隙、激發(fā)態(tài)等等。
為了確定溫度,用一個光束(通常是激光)照射待測物,測量一個或多個參數(shù):固定波長的反射和或透射系數(shù)、反射和或透射光譜、反射光的偏振態(tài)等等。
下表對比傳統(tǒng)測溫和激光測溫的優(yōu)劣
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					 方法  | 
				
					 優(yōu)勢  | 
				
					 劣勢  | 
			
| 接觸測溫 | 
					
  | 
				|
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					 輻射測溫  | 
				
					
  | 
				
					
  | 
			
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					 激光測溫  | 
				
					
  | 
				
					
  | 
			
激光測溫主要技術(shù)
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干涉測溫
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橢圓偏振測量測溫
 - 
			
光熱輻射測溫
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熱反射測溫
 
	
上圖是基于光學(xué)干涉非接觸式測溫(OICT)的實時溫度測量系統(tǒng)原理圖
- 
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原文標題:激光測溫法概述
文章出處:【微信號:bdtdsj,微信公眾號:中科院半導(dǎo)體所】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。
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