12月16日，由半導體投資聯(lián)盟贊助，愛集微承辦的“2024半導體投資年會暨IC風云榜頒獎典禮”在北京舉行。在眾多入圍企業(yè)中，泓滸（蘇州）半導體科技有限公司因其卓越的晶圓傳輸自動化設備與真空傳送平臺技術突破，榮膺 “年度技術突破獎”。

泓滸半導體成立于2016年，總部位于蘇州，主營半導體晶圓傳輸自動化設備研發(fā)制造，是國家高新技術企業(yè)。獲批國家級專精特新“小巨人”認定，并列為蘇州市“獨角獸”企業(yè)。其主要產品覆蓋晶圓傳片機（Sortor）、設備前端模塊 （EFEM）、真空傳輸平臺（VTM）、半導體核心精密傳輸部件等，為半導體產業(yè)各下游客戶提供尖端的晶圓自動傳輸整體解決方案。泓滸半導體自主研發(fā)的設備已廣泛運用于硅基集成電路制造、SiC、GaN化合物半導體及第四代顯示技術Micro LED等領域。

泓滸半導體核心技術團隊由資深半導體晶圓廠和設備公司成員組成，具有豐富的半導體技術開發(fā)經(jīng)驗。設備性能指標達到國際先進水平，且在機器人（Robot）等關鍵零部件和軟件控制系統(tǒng)自主研發(fā)亦有重大突破。

真空傳送平臺（VTM）應用于晶圓蝕刻、沉積等真空工藝制程，由于對環(huán)境要求極高，需具備超高真空度、超低振動、耐腐蝕、耐高溫等特性。長久以來，此類平臺及關鍵零部件—真空搬運機器人（V-ROBOT）等全部依賴進口。然而，歷經(jīng)多年拼搏，泓滸半導體成功攻克了這一技術難題，成為了中國目前唯一能大批量交付真空傳送設備（VTM）的企業(yè)。

值得一提的是，截至當前，泓滸半導體已獲得逾120項專利，其中絕大部分均為發(fā)明專利。

“年度技術突破獎”旨在表彰那些在前沿技術領域開展原創(chuàng)性重大技術創(chuàng)新，達到國際先進/領先水平，預期將帶來重大社會經(jīng)濟效益，并有力推動我國集成電路產業(yè)鏈自主安全可控發(fā)展的企業(yè)。由半導體投資聯(lián)盟逾百家會員單位及廣大半導體行業(yè)領袖擔任評審團，從市場、學術研究、資金來源、品牌影響力等多個角度，選拔出符合評選標準的優(yōu)秀人才、優(yōu)質機構、優(yōu)秀企業(yè)、優(yōu)秀園區(qū)和優(yōu)秀品牌進行公開表彰。