晶圓AOI檢測(cè)設(shè)備，使用線掃描相機(jī)，沿X方向?qū)A上的每個(gè)晶粒進(jìn)行掃描，同時(shí)在掃描到每個(gè)晶粒時(shí)，相機(jī)會(huì)在Z方向做上下的微調(diào)整，用于準(zhǔn)確地對(duì)焦。當(dāng)一行掃描完成后，相機(jī)會(huì)在Y方向移動(dòng)到下一行晶粒，繼續(xù)之前的動(dòng)作，直到整個(gè)晶圓掃描完成。

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PCIe-833x EtherCAT運(yùn)動(dòng)控制卡介紹

凌華科技PCIe-833x是一款基于硬件的EtherCAT運(yùn)動(dòng)控制卡，能夠同時(shí)支持多達(dá)64個(gè)同步軸和超過(guò)10,000 個(gè)I/O 點(diǎn)。PCIe-833x具有專用的隔離緊急停止輸入(EMG) 和可配置的隔離高速數(shù)字輸入，不僅具有通用傳感器輸入，而且具有高達(dá)1MHz 輸入頻率的脈沖輸入。

在250μs 的最小通訊周期內(nèi)提供最佳的抖動(dòng)控制，優(yōu)化半導(dǎo)體、電子制造等自動(dòng)化應(yīng)用領(lǐng)域的同步I/O 性能。

PCIe-833x產(chǎn)品特性

?通過(guò)EtherCAT 可實(shí)現(xiàn)多達(dá)64 軸的運(yùn)動(dòng)控制和10,000 個(gè)I/O 點(diǎn)控制

?EtherCAT 控制周期高達(dá)250μs

?兼容大多數(shù)EtherCAT從站

?專用的緊急停止輸入

?板卡自帶4通道隔離數(shù)字輸入/4通道隔離數(shù)字輸出

?單通道脈沖輸入

?針對(duì)軌跡應(yīng)用的點(diǎn)表功能

?支持最高達(dá)16D直線插補(bǔ)，3D圓弧插補(bǔ)和3D螺旋插補(bǔ)

?對(duì)于獨(dú)立的應(yīng)用，提供8個(gè)程序可下載功能

?支持從站ID設(shè)置

晶圓AOI檢測(cè)

晶圓AOI檢測(cè)功能需求

1）兩軸插補(bǔ)功能。

2）2D觸發(fā)功能（在掃描過(guò)程中，相機(jī)在Z軸方向做上下對(duì)焦動(dòng)作）。

PCIe-833x解決方案：

1）兩軸插補(bǔ)中使用PT功能，客戶可以指定在同一個(gè)時(shí)間點(diǎn)X及Z的位置，以及相關(guān)各軸的速度，用到的函數(shù)和語(yǔ)法如下，

APS_pt_motion_add_point

Syntax: C/C++:

I32 APS_pt_motion_add_point ( I32 Axis_ID, I32 ArraySize, F64 *PositionArray, F64 *TimeArray ); Visual Basic: APS_pt_motion_add_point(ByVal Axis_ID As Long, ByVal ArraySizeAs Long, PositionArrayAs Double, TimeArrayAs Double) As Long

APS_pt_motion_get_status

Syntax: C/C++:

I32 APS_pt_motion_get_status( I32 Axis_ID, I32 *FreeSize, I32 *PointCount, I32 *State ); Visual Basic: APS_pt_motion_get_status (ByVal Axis_ID As Long, FreeSize As Long, PointCountAs Long, StateAs Long) As Long

APS_pt_motion_start

Syntax: C/C++:

I32 APS_pt_motion_start (I32 Dimension, I32 *Axis_ID_Array, I32 Enable ); Visual Basic: APS_pt_motion_start(ByVal Dimension As Long, Axis_ID_Array As Long, ByVal Enable As Long) As Long

APS_pt_motion_reset

Syntax: C/C++:

I32 APS_pt_motion_reset (I32 Axis_ID); Visual Basic: APS_pt_motion_reset (ByVal Axis_ID As Long) As Long

調(diào)試界面如下，

2）2D觸發(fā)功能

2D觸發(fā)功能通過(guò)外接ECAT-TRG4 4通道高速位置比較和觸發(fā)模塊實(shí)現(xiàn)，ECAT-TRG4 是 EtherCAT從端模塊，具有高速位置比較觸發(fā)和編碼器單個(gè)信號(hào)中繼功能，該模塊的規(guī)格如下，

?4 通道點(diǎn)表觸發(fā)-最大10 MHz帶FIFO 255 點(diǎn)

?4 通道線性觸發(fā) - 最大10MHz

?4 通道位置鎖存 - 最大3 MHz帶 255 點(diǎn)

?硬件緊急停止接口

?通過(guò)主站最多支持 32 組龍門(mén)功能

?軸參數(shù)的斷電記憶

?支持編碼器信號(hào)中繼功能

?支持高級(jí)點(diǎn)表

需要用到的函數(shù)和語(yǔ)法如下，

APS_set_field_bus_multi_trigger_table

Syntax：

C/C++：

I32 APS_set_field_bus_multi_trigger_table( I32 Board_ID, I32 BUS_No, I32 MOD_No, I32 MTCmpCh, I32 Dimension, MCMP_POINT *DataArray, I32 ArraySize , I32 Window );

APS_get_field_bus_multi_trigger_table_cmp

Syntax：

C/C++：

I32 APS_get_field_bus_multi_trigger_table_cmp( I32 Board_ID, I32 BUS_No, I32 MOD_No, I32 MTCmpCh, I32 Dimension, MCMP_POINT *CmpVal );

APS_get_field_bus_multi_table_cmp_remain_count

Syntax：

C/C++：

I32 APS_get_field_bus_multi_table_cmp_remain_count( I32 Board_ID, I32 BUS_No, I32 MOD_No, I32 MTCmpCh, I32 *Cnt );

審核編輯：劉清