在鈣鈦礦太陽能電池的生產(chǎn)工藝中，ITO薄膜沉積是能夠提升鈣鈦礦太陽能電池光電轉(zhuǎn)換率的關鍵步驟，其中，真空蒸鍍沉積技術可較為便捷的制備高純度、高質(zhì)量的ITO薄膜，是沉積工藝中的一項核心技術。「美能光伏」憑借深厚的檢測經(jīng)驗與精湛的檢測技術，生產(chǎn)了美能分光光度計，該設備可幫助電池廠商更便捷與科學的矯正鈣鈦礦太陽能電池片的ITO薄膜中的吸光度變化，從而幫助光伏廠商更好的保障電池質(zhì)量。

真空蒸發(fā)鍍膜簡稱為真空蒸鍍，是指在真空室中，加熱蒸發(fā)容器里待形成薄膜的原材料，使其原子或分子從表面分化溢出，形成蒸汽流，入射到鈣鈦礦太陽能電池片的表面，凝結(jié)形成ITO薄膜等固態(tài)薄膜的方法。由于真空蒸鍍技術主要是通過加熱蒸發(fā)材料而產(chǎn)生的，所以又稱為熱蒸發(fā)法或者熱蒸鍍。

運用真空蒸鍍沉積ITO薄膜的過程

運用真空蒸發(fā)鍍膜技術進行ITO薄膜沉積，首先要進行加熱蒸發(fā)過程，即將凝聚相轉(zhuǎn)變?yōu)?/span>氣相的相變過程。由于每種蒸發(fā)物質(zhì)在不同溫度下會有不同的飽和蒸氣壓，因此蒸發(fā)化合物時，組分會發(fā)生變化，其中有些組分會以氣態(tài)或者蒸汽進入蒸發(fā)空間。

其次要進行氣化原子或分子在蒸發(fā)源與太陽能電池片表面之間的輸運過程，即這些粒子在環(huán)境氣氛中的飛行過程。飛行過程中與真空室內(nèi)殘余氣體分子發(fā)生碰撞的次數(shù)，取決于蒸發(fā)原子的平均自由程，以及從蒸發(fā)源到基片之間的距離，常稱為源——基距。

真空蒸鍍沉積ITO薄膜示意圖

最后要進行蒸發(fā)原子或分子在鈣鈦礦太陽能電池表面上的沉積過程，即是蒸汽凝聚、成核、核生長、形成連續(xù)薄膜。由于電池表面的溫度要遠低于蒸發(fā)源的溫度，因此，沉積物分子在電池表面時將直接發(fā)生從氣相到固相的轉(zhuǎn)變過程。

真空蒸鍍的諸多優(yōu)勢

● 鍍膜方法簡單：真空蒸鍍只需要將待沉積的材料加熱至足夠高的溫度，使其氣化并飛向鈣鈦礦太陽能電池片的表面形成薄膜。設備結(jié)構(gòu)相對簡單，操作方便。

●薄膜純度和致密度高：相比其他的沉積技術，真空蒸鍍沉積技術是在高真空條件下進行的，可以有效地較少雜志氣體和粉塵顆粒對沉積過程的影響。同時，由于沉積原子具有較高的動能，在電池片的表面可以形成致密均勻的結(jié)構(gòu)。

● 厚度可較準確控制：真空蒸鍍可以通過調(diào)節(jié)加熱功率、時間、距離等參數(shù)來控制沉積速率和厚度，也可以通過「美能光伏」生產(chǎn)的美能探針式臺階儀來實時測量和反饋沉積后的ITO薄膜厚度等參數(shù)，從而將精準的數(shù)據(jù)反饋給電池廠商，助力其高效生產(chǎn)！

●成膜速率快、效率高：真空蒸鍍可以利用電阻、電子束、激光等方式加熱材料，使其快速達到飽和蒸氣壓并產(chǎn)生大量的氣態(tài)粒子，這樣可以在較短的時間內(nèi)完成沉積過程，并可以同時或分別沉積多種不同的材料。

美能分光光度計

美能分光光度計采用獨特的雙光束光學設計，可以完美矯正不同ITO薄膜的吸光度變化，從而穩(wěn)定的進行樣品測定。

● 采用雙光源雙檢測器設計

●超大波長范圍190-2800nm

● 雙光柵光學結(jié)構(gòu)、有效降低雜散光

● 積分球直徑可達100mm

●長期使用不發(fā)黃變性、光學性能穩(wěn)定

● 可最大限度的降低檢測器切換導致的誤差

在鈣鈦礦太陽能電池的沉積工藝中，真空蒸鍍沉積技術扮演著重要的角色，它可通過相當便捷的沉積手段達到其他沉積技術要通過繁瑣的工序才能達到的效果，因此可適用于太陽能電池產(chǎn)業(yè)化制備工藝中。「美能光伏」生產(chǎn)的美能分光光度計，可通過設定待測樣品的詳細信息，一鍵開始樣品掃描，從而滿足電池廠商的產(chǎn)業(yè)化檢測需求！