微納加工技術(shù)是先進(jìn)制造的前沿技術(shù)，但是受到基礎(chǔ)裝備、工藝技術(shù)、行業(yè)基礎(chǔ)等多方面影響，中國(guó)的超精密加工技術(shù)與應(yīng)用與世界先進(jìn)水平之間仍有巨大差距。為解決微型零件加工需求，速科德創(chuàng)新研發(fā)了超高精密設(shè)備KASITE-SKD系列微納加工中心，加工余量范圍20nm-100μm。

超精密數(shù)控加工/超精密加工——傳統(tǒng)加工中的“高精度”是指?jìng)€(gè)位數(shù)微米級(jí)的公差。KASITE-SKD系列微納加工中心采用了高精度高響應(yīng)直線電機(jī)、光柵反饋（10nm/20 nm /50 nm /100 nm）、高轉(zhuǎn)速高精度（≤1μm）高速電主軸和高倍率遠(yuǎn)心鏡頭，實(shí)現(xiàn)公差達(dá)到“亞微米”級(jí)的精度。

超精密加工是一種高度自動(dòng)化過(guò)程，旨在對(duì)高度復(fù)雜的零件進(jìn)行極其精確的成形。KASITE-SKD系列微納加工中心自帶CNC功能的運(yùn)動(dòng)控制卡編程運(yùn)算各指令，并且自定義運(yùn)動(dòng)軌跡控制，編輯不同形狀，自動(dòng)完成零件加工需求。

此外，KASITE-SKD系列微納加工中心采用了先進(jìn)的上下相機(jī)視覺(jué)定位系統(tǒng)：

上相機(jī)標(biāo)定刀具中心和相機(jī)中心誤差，在線檢測(cè)工件尺寸確定余量后進(jìn)行微納加工。

下相機(jī)具有對(duì)刀功能（靜態(tài)刀具XYZ值的對(duì)刀）和刀具動(dòng)態(tài)的刀擺補(bǔ)償。

將超精密自動(dòng)化加工與先進(jìn)的視覺(jué)系統(tǒng)相結(jié)合，以實(shí)現(xiàn)高精度：

• 實(shí)現(xiàn)納米量級(jí)材料去除的加工技術(shù)
• 實(shí)現(xiàn)特征尺寸從幾微米到幾百微米三維結(jié)構(gòu)的加工
• 實(shí)現(xiàn)超高孔深系數(shù)的鉆孔加工技術(shù)

行業(yè)應(yīng)用

KASITE-SKD系列微納加工中心廣泛應(yīng)用于航空航天、光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體、通用機(jī)械加工、模具制造等領(lǐng)域鉆、銑、磨高精密加工。

加工案例

文章來(lái)源：速科德電機(jī)科技