三坐標(biāo)測(cè)量儀是指在一個(gè)六面體的空間范圍內(nèi)，能夠表現(xiàn)幾何形狀、長度及圓周分度等測(cè)量能力的儀器，它是通過XYZ三個(gè)軸測(cè)量各種零部件及總成的各個(gè)點(diǎn)和元素的空間坐標(biāo)，來評(píng)價(jià)長度、直徑、形狀誤差、位置誤差的一種測(cè)量設(shè)備。配備了高精度的導(dǎo)軌、測(cè)頭和控制系統(tǒng)，并使用計(jì)算機(jī)程序來自動(dòng)控制檢測(cè)流程，計(jì)算輸出測(cè)量結(jié)果。

三坐標(biāo)測(cè)量儀對(duì)被測(cè)體沒什么特殊要求，只是需要根據(jù)被測(cè)物體選擇不同的測(cè)頭及測(cè)針。測(cè)量功能應(yīng)包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等。

Mars系列移動(dòng)橋式三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)支持觸發(fā)、掃描和非接觸式探測(cè)系統(tǒng)。能夠?qū)Ω鞣N零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關(guān)系進(jìn)行檢測(cè)，也可以對(duì)軟材質(zhì)或復(fù)雜零件進(jìn)行光學(xué)掃描測(cè)量。并且支持測(cè)頭更換架以及影像相機(jī)，同時(shí)支持精密轉(zhuǎn)臺(tái)等。是測(cè)量和獲得尺寸數(shù)據(jù)的有效方法之一，因?yàn)樗梢源娑喾N表面測(cè)量工具及昂貴的組合量規(guī)，并把復(fù)雜的測(cè)量任務(wù)所需時(shí)間從小時(shí)減到分鐘，這是其它儀器而達(dá)不到的效果。