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5.2.3 擴(kuò)展缺陷對(duì)SiC器件性能的影響∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長(zhǎng)、表征、器件和應(yīng)用》

深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-01-06 09:25 ? 次閱讀
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5.2.3 擴(kuò)展缺陷對(duì)SiC器件性能的影響

5.2 SiC的擴(kuò)展缺陷

第5章碳化硅的缺陷及表征技術(shù)

《碳化硅技術(shù)基本原理——生長(zhǎng)、表征、器件和應(yīng)用》

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