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半導(dǎo)體先進(jìn)封裝技術(shù)

1770176343 ? 來(lái)源:半導(dǎo)體封裝工程師之家 ? 2023-02-21 11:22 ? 次閱讀
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按照最終外形來(lái)看,現(xiàn)在有無(wú)數(shù)種封裝方式,這個(gè)實(shí)在是太多了,比如 QFP,QFN,SOT,DIP,BGA 等等,所以我們今天不以這種方式介紹。所以現(xiàn)在按照封裝的發(fā)展歷史來(lái)介紹,以封裝工藝的方式來(lái)分類(lèi)。

第 1 代封裝:wire bond(俗稱(chēng),打線(xiàn))

這種封裝方式是最早出現(xiàn)的,雖然是第一代技術(shù),但是直到現(xiàn)在也有很多芯片使用這種方式來(lái)封裝,就是因?yàn)榧夹g(shù)成熟,成本低。最后封裝成的模樣就是這樣子的。

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先聊一下這種封裝流程

1切割

在封裝廠(chǎng)拿到 wafer 之后,先把 wafer 進(jìn)行切割,得到一顆一顆的芯片,將那些 CP 測(cè)試(下一次我們?cè)倭臏y(cè)試)通過(guò)的芯片單獨(dú)拿出來(lái)。這里要說(shuō)一個(gè)問(wèn)題,一顆芯片從在沒(méi)有做任何處理之前,那些引腳是長(zhǎng)這個(gè)樣子的,如下圖左下角的方形圖案(你先忽略那兩個(gè)圓形的東西,后面我就知道那兩個(gè)圓形是怎么來(lái)的了),這些引腳也有一個(gè)名字,叫做 pad。

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2固定在 lead frame 上

將芯片放到 lead frame 上,并且用銀漿固化,其實(shí)就是將芯片和 lead frame 的底部粘住啦。lead frame 可以理解為引線(xiàn)框架,他是一個(gè)陣列結(jié)構(gòu),如下圖

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就是將芯片放到中間的凹槽,四周都是我們最終看到的引腳。在最終結(jié)束工藝之后,就把這些引腳“剪開(kāi)”,然后掰彎,最終形成我們看到的樣子。所以第二步完成之后,從側(cè)面看的話(huà)是下圖這個(gè)樣子。

這里要注意,就是芯片必須是正面朝向,當(dāng)正面朝上的時(shí)候,pad 也是朝上的。lead frame 的引腳在兩側(cè)。

3打線(xiàn)

用金線(xiàn)(或者是銅線(xiàn),鋁線(xiàn))將芯片的 pad 和 lead frame 連接起來(lái)。線(xiàn)的種類(lèi)會(huì)根據(jù)芯片的不同制程,或者是根據(jù)芯片 pad 的不同結(jié)構(gòu)來(lái)決定使用金線(xiàn)或者是銅線(xiàn)。在打線(xiàn)時(shí),先讓金線(xiàn)在低端形成一個(gè)金球。

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然后將金球壓倒芯片的 pad 上,然后通過(guò)施壓壓力或者改變溫度來(lái)焊接到 pad 上,這就會(huì)在 pad 上形成一個(gè)圓點(diǎn),上面第二張圖中的圓點(diǎn)就是這么形成的。

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然后將金線(xiàn)拉升,并且移動(dòng)到 lead frame 上方。當(dāng)然不要擔(dān)心金線(xiàn)會(huì)斷,因?yàn)榻鹁€(xiàn)不是固定長(zhǎng)度。可以在上面自動(dòng)生成金線(xiàn)。所以是這個(gè)樣子的。

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然后再將末端的金線(xiàn)壓到 lead frame 上,再側(cè)向劃開(kāi),切斷金線(xiàn),所以會(huì)在 lead frame 上會(huì)形成切斷金線(xiàn)后的魚(yú)尾形狀(我畫(huà)不出魚(yú)尾形狀啦)。最終是這個(gè)樣子。

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4注塑

也叫塑封。就是將連接好的芯片和 lead frame 放到模具中。然后將塑封材料灌進(jìn)去。加熱之后這些材料變成液體,再把芯片,金線(xiàn)和 lead frame 都包住。

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5包裝

注塑完成后,工作就比較簡(jiǎn)單了,比如在芯片頂部打字,打 logo。除去 lead frame 上多余的塑封材料。在 lead frame 上電鍍一層特殊材料,防止外部環(huán)境對(duì)于引腳的破壞(比如潮濕,高溫等等)。最后將 lead frame 剪開(kāi),得到我們想要的引腳方式。

上面這五部就是 wire bond 封裝方式最簡(jiǎn)單的流程。這一套工藝在現(xiàn)代封裝技術(shù)中已經(jīng)很成熟了,成本也低。但是里面的很多細(xì)節(jié)還是比較關(guān)鍵的。比如這些制程里面對(duì)溫度的控制,特別是在拉線(xiàn)過(guò)程中,金線(xiàn)的弧度,高度以及拉力,金球的大小等等。這些參數(shù)直接影響芯片的質(zhì)量,甚至?xí)剐酒瑹o(wú)法使用。

第 1.5 代封裝:CSP(Chipe-Size Package)

在上面的 wire bond 中,有一個(gè)很大的問(wèn)題,就是最終出來(lái)的芯片比實(shí)際的芯片要大很多,因?yàn)?lead frame 和芯片之間是有距離的。為了解決這個(gè)問(wèn)題,人們發(fā)明了 CSP 封裝技術(shù)。它的思想很簡(jiǎn)單,就是去掉 lead frame,用一塊基板代替。

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基板的作用就是將導(dǎo)線(xiàn)從 pad 引過(guò)來(lái)之后,基板里面有自己的一些電路,將這些導(dǎo)線(xiàn)引到下面的焊接點(diǎn)上(焊接點(diǎn)也是球型)。這樣就形成了外部電壓通過(guò)焊接點(diǎn),基板(導(dǎo)線(xiàn))與芯片的 pad 交流。

所以最終出現(xiàn)的芯片是這樣的。當(dāng)然下面的芯片有可能不是用這種方式封裝,但是最終的樣子是一樣的。

第 2 代封裝:flip chip(倒裝封裝)

在聊完上面兩種方式之后。我們會(huì)發(fā)現(xiàn)一個(gè)問(wèn)題,不能批量化操作,也就是必須在晶圓切割成每個(gè)芯片之后才能封裝,成本太高。為了解決這個(gè)問(wèn)題,發(fā)明了 flip chip 這種方式。

只所以叫做倒裝,是因?yàn)樵谇懊娴姆庋b方式中,芯片是正面朝上放到基板上面的。而 flip chip 是正面朝下放置。

這種封裝方式有一個(gè)特殊的工藝流程,就是 bump。大家可以理解為長(zhǎng)金球(錫球)。

要想長(zhǎng)金球,首先要做的就是重新布局芯片 pad 的的位置,利用和芯片制造中相同的后段技術(shù),將邊緣部位的 pad,安排到芯片中央來(lái)。這句話(huà)就是 bump 的核心目的。

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大體思路就是將芯片的 pad 通過(guò)導(dǎo)線(xiàn)(紅色)借接出來(lái),然后在想要的位置上重新做一個(gè) pad,實(shí)際圖形長(zhǎng)這樣子,中間的哪些深色部分就是導(dǎo)線(xiàn)。

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大家可能會(huì)問(wèn),為什么不在芯片的 pad 上直接長(zhǎng)錫球呢?因?yàn)楫?dāng)芯片的引腳太多時(shí),直接長(zhǎng)金球的方式危險(xiǎn)系數(shù)會(huì)大大提高,很容出現(xiàn)兩個(gè)引腳短接的情況。這樣重新分配 pad 布局的過(guò)程叫做 RDL(re-distribution layer)。準(zhǔn)確的說(shuō)它是指連接新 pad 和舊 pad 的這一層,但是大家在使用的時(shí)候,就不再區(qū)分,直接把這個(gè)過(guò)程叫做 RDL。

到這里之后,后面一步就是 bump,也就是長(zhǎng)金球(錫球)。長(zhǎng)金球的過(guò)程就不再多說(shuō)了,和芯片制造工藝中的曝光,刻蝕差不多。最終形成的是這個(gè)樣子。

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直到長(zhǎng)完球(bump)之后,整個(gè) wafer 還沒(méi)有被切割,所以這些都是批量操作,成本特別低。這些操作完成后再進(jìn)行晶圓級(jí)測(cè)試。也正是因?yàn)?bump 過(guò)程是在 wafer 上制作的,所以大家都把它叫做 WLCSP(wafer level CSP)。

測(cè)試完成之后再切割,把好的芯片拿出來(lái)。最后倒扣到基板上面。就這樣,外部電壓通過(guò)焊接點(diǎn)以及 bump 產(chǎn)生的球與芯片交流。

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這種封裝方式,最省面積,封裝出來(lái)的芯片大小和原始大小相差不大。所以這種方式也是比較主流的封裝方式,一般用在高端產(chǎn)品上。在這一套流程中,bump 的過(guò)程是最為關(guān)鍵的,包括球的大小,導(dǎo)電性等等。

第 3 代封裝技術(shù):InFO,HBM,CoWos

通過(guò)上面兩代封裝技術(shù)的發(fā)展,芯片封裝技術(shù)已經(jīng)可以滿(mǎn)足大部分的需求了,但市場(chǎng)往往是解決一個(gè)需求之后,又會(huì)產(chǎn)生最新的需求。通過(guò) flip chip 技術(shù),我們解決了芯片封裝的大小問(wèn)題。但是這種技術(shù)隨著 pin 角增多也會(huì)出現(xiàn)很多麻煩,主要有下面兩個(gè)方面。

1面積縮小,但是 pin 角增多

因?yàn)樾酒诒M量縮小,pin 角在增多,芯片的面積已經(jīng)不能裝下這么多焊接點(diǎn)了。因?yàn)?flip chip 的封裝方式是將所有的 pin 腳都集中在一顆芯片的下方,所以我們把這種方式另外取一個(gè)名字,叫做 FanIn 方式的封裝,又叫扇入型封裝方式。如下圖

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所以當(dāng) pin 角在增加的時(shí)候,芯片下面的面積根本不夠擺放這么多焊接點(diǎn)

2時(shí)序要求高

高性能芯片需要多個(gè)芯片集成封裝?,F(xiàn)在高性能的芯片對(duì)于時(shí)序(Timing)的要求特別高,所以?xún)深w芯片不能相距太遠(yuǎn),這樣的話(huà)會(huì)更利于兩顆芯片進(jìn)行信息交流,提高數(shù)據(jù)處理速度,降低發(fā)熱。

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在這兩個(gè)需求下,產(chǎn)生了 InFO(integrated Fan-out)的封裝方式。我們先看 Fan-Out 是什么意思。上面我們了解了 FanIn,那 fanout 就是剛好反過(guò)來(lái)。它是把引腳的焊接點(diǎn)引到芯片的外部,如下圖。這樣的話(huà),即使芯片的 pin 角增多,也不會(huì)帶來(lái)上面的困擾。

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那 integrated 是什么意思呢?就是多個(gè)芯片集成封裝。說(shuō)白了,就是將多個(gè)芯片放在一起封裝。將這兩種技術(shù)合成在一起就是 InFO 封裝方式。

我自己畫(huà)了一個(gè)圖來(lái)向大家稍微介紹一下吧。

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假設(shè)有兩個(gè)芯片,一個(gè)是邏輯芯片,一個(gè)是存儲(chǔ)芯片?,F(xiàn)在需要把這兩個(gè)芯片封裝在一起,而且這兩個(gè)芯片的某些引腳是可以接在一起的。于是就運(yùn)用了芯片制作里面的金屬層布線(xiàn)的原理,在基板里面布線(xiàn),然后將需要的連接在基板就完成,最后在基板的底部連接處焊接球。這樣就可以達(dá)到,既可以將多個(gè)芯片封裝在一起,也可以應(yīng)付 pin 腳多的情況。上面這種兩個(gè)芯片平行放置的方式較 Multi InFo 工藝。

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如果像上面這種,兩個(gè)芯片是垂直放置,這種叫做 InFO-PoP 結(jié)構(gòu)。

很多人會(huì)問(wèn),這種封裝方式不是面積增加了嗎,畢竟占用了芯片以外的地方。其實(shí)從得到的好處來(lái)說(shuō),還是值的的。況且,InFo 的封裝面積可能比各個(gè)分別封裝的面積總和要少。

現(xiàn)在這種封裝技術(shù)只是使用在高端芯片中,比如蘋(píng)果的 A12 等,普通芯片是享受不了這種待遇的,因?yàn)檎娴暮苜F。臺(tái)積電封裝業(yè)務(wù)的很大一部分盈利都是靠 InFO 來(lái)的。

還有一種封裝方式是叫 CoWos(Chip-on-Wafer-on-Substrate),是一種將芯片和硅片(基底)集成在一起的封裝方式。這種封裝方式只有臺(tái)積電能做,而且是高度商業(yè)機(jī)密,技術(shù)不外露,所以我也知之甚少,在這里就不和大家介紹了。如果以后我了解到,再和大家更新。

當(dāng)然第三代封裝技術(shù)還有 AMD 推出的 HBM 技術(shù),美光的 HMC 技術(shù),其實(shí)都是大同小異。這里也不做介紹了。

審核編輯 :李倩

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原文標(biāo)題:半導(dǎo)體先進(jìn)封裝技術(shù)(各代半導(dǎo)體封裝技術(shù)簡(jiǎn)介)

文章出處:【微信號(hào):半導(dǎo)體封裝工程師之家,微信公眾號(hào):半導(dǎo)體封裝工程師之家】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

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    第1波嘉賓劇透!六大院士專(zhuān)家精彩分享:AEMIC第三代<b class='flag-5'>半導(dǎo)體</b>及<b class='flag-5'>先進(jìn)</b><b class='flag-5'>封裝</b><b class='flag-5'>技術(shù)</b>創(chuàng)新大會(huì)暨<b class='flag-5'>先進(jìn)</b><b class='flag-5'>半導(dǎo)體</b>展

    消息稱(chēng)臺(tái)積電完成CPO與先進(jìn)封裝技術(shù)整合,預(yù)計(jì)明年有望送樣

    12月30日,據(jù)臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)消息稱(chēng),臺(tái)積電近期完成CPO與半導(dǎo)體先進(jìn)封裝技術(shù)整合,其與博通共同開(kāi)發(fā)合作的CPO關(guān)鍵技術(shù)微環(huán)形光調(diào)節(jié)器(MRM
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    合科泰榮獲2024-2025中國(guó)半導(dǎo)體封測(cè)最佳品牌企業(yè)

    近日,中國(guó)半導(dǎo)體先進(jìn)封裝大會(huì)于上海浦東開(kāi)幕。作為半導(dǎo)體行業(yè)極具權(quán)威性的盛會(huì),此次大會(huì)邀請(qǐng)了超600家先進(jìn)
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