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物聯(lián)網(wǎng)在半導(dǎo)體中的日益普及、對(duì)智能消費(fèi)電子和可穿戴設(shè)備的需求不斷增加以及工業(yè)和家庭中自動(dòng)化的日益普及是 MEMS市場(chǎng)增長(zhǎng)的重要因素。到 2026年，全球 MEMS市場(chǎng)預(yù)計(jì)將從 2020年的109.2 億美元增至 188.8億美元。

MEMS器件在生物醫(yī)學(xué)、光學(xué)、無(wú)線、航空航天和消費(fèi)產(chǎn)品等各個(gè)領(lǐng)域都有不同的應(yīng)用。MEMS也一直是新冠病毒時(shí)代的主要用途，因?yàn)樗?a href="http://qiaming.cn/tags/壓力傳感器/" target="_blank">壓力傳感器用于呼吸機(jī)的呼吸監(jiān)測(cè)以監(jiān)測(cè)患者的呼吸。除醫(yī)療設(shè)備外，MEMS可用于由微型集成設(shè)備或結(jié)合機(jī)械和電氣組件的系統(tǒng)組成的每個(gè)小型設(shè)備。

ELE Times通訊員 SheebaChauhan借此機(jī)會(huì)與 Patrick (Rick) Oden博士、TI研究員、DLP產(chǎn)品和研究員 – 美國(guó)物理學(xué)會(huì)、德州儀器進(jìn)行了互動(dòng)。對(duì)話富有洞察力，充滿了MEMS的實(shí)際應(yīng)用。

MEMS器件從大批量商品或小批量向高度專(zhuān)業(yè)化的器件轉(zhuǎn)變

MEMS的第一個(gè)小批量產(chǎn)品是來(lái)自Novasensor的壓力傳感器，這是 Kurt Peterson博士幾十年前努力的產(chǎn)物。這個(gè)應(yīng)用程序已經(jīng)持續(xù)了幾十年。幾年前在 80年代/ 90年代已經(jīng)提出了更高容量的產(chǎn)品。它們現(xiàn)在已成為大多數(shù)手機(jī)的主要產(chǎn)品，并顯著提高了銷(xiāo)量。此外，25年來(lái)，德州儀器 (TI)一直致力于為具有合理體積的顯示應(yīng)用大規(guī)模并行表面 MEMS陣列。確實(shí)，已經(jīng)從專(zhuān)用設(shè)備轉(zhuǎn)變?yōu)橥ǔ］^低的銷(xiāo)量，轉(zhuǎn)變?yōu)槊磕赇N(xiāo)售數(shù)百萬(wàn)臺(tái)的設(shè)備。它主要是由對(duì)手持設(shè)備的需求和內(nèi)容可視化的傳播驅(qū)動(dòng)的。

展望未來(lái)，下一代慣性傳感器平臺(tái)可能會(huì)進(jìn)一步適應(yīng)，以提供航位推算能力，以增強(qiáng)信號(hào)挑戰(zhàn)環(huán)境中的 GPS協(xié)調(diào)。預(yù)計(jì)還將類(lèi)似地繼續(xù)采用投影技術(shù)來(lái)滿足相鄰空間和需求。

MEMS器件對(duì)安全關(guān)鍵市場(chǎng)以及封裝、芯片移位和變化等問(wèn)題的影響

存在與安全關(guān)鍵且通常用于汽車(chē)級(jí) MEMS功能相關(guān)的成本。這種對(duì)細(xì)節(jié)和可量化規(guī)格的額外關(guān)注會(huì)對(duì)各種分層汽車(chē)供應(yīng)商必須轉(zhuǎn)嫁給客戶(hù)的設(shè)備成本產(chǎn)生影響。

最終，這會(huì)導(dǎo)致經(jīng)營(yíng)成本和供應(yīng)商需要將其汽車(chē)產(chǎn)品組合與消費(fèi)級(jí)產(chǎn)品區(qū)分開(kāi)來(lái)。

制造紀(jì)律是一場(chǎng)永遠(yuǎn)存在的戰(zhàn)斗。許多 MEMS供應(yīng)商被迫利用外部制造廠進(jìn)行生產(chǎn)，這可能是一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程，因?yàn)樗麄儧](méi)有得到供應(yīng)商的足夠重視和標(biāo)準(zhǔn)制造公差要求。對(duì)于那些擁有自己生產(chǎn)線的生產(chǎn)商來(lái)說(shuō)，他們可以更準(zhǔn)確地控制他們的產(chǎn)品。

正在進(jìn)行的改進(jìn) MEMS設(shè)備（慣性和陀螺儀傳感器）以及漂移、干擾和老化等問(wèn)題的工作

許多生產(chǎn)商利用非常相似的正交傳感范式來(lái)檢測(cè)線性加速度或旋轉(zhuǎn)（陀螺儀）。這使生產(chǎn)商處于利潤(rùn)減少的境地，并允許以擴(kuò)大能力為目標(biāo)，以將他們的產(chǎn)品供應(yīng)與競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手區(qū)分開(kāi)來(lái)。

最終目標(biāo)是能夠生成一個(gè)慣性傳感器平臺(tái)，該平臺(tái)將通過(guò)標(biāo)準(zhǔn) GPS的定位精度來(lái)增強(qiáng)功能。它將在 1立方英尺的體積內(nèi)提供向上 5分鐘的定位精度。這可能需要為慣性系統(tǒng)采用不同的信號(hào)轉(zhuǎn)導(dǎo)機(jī)制，幾家初創(chuàng)公司和大公司正在為此研究新的途徑。

在任何多系統(tǒng)實(shí)施方案（多芯片模塊）中，電氣和機(jī)械漂移和干擾考慮顯然很重要，并且最終將成為最終解決方案。材料科學(xué)方面的考慮是設(shè)備開(kāi)發(fā)周期中的一項(xiàng)要求。然而，雖然在某些領(lǐng)域這種情況目前正在發(fā)生，但在其他領(lǐng)域，它顯然缺乏牽引力。

異構(gòu)封裝問(wèn)題影響MEMS的應(yīng)力、潛在熱失配和材料純度以及現(xiàn)有市場(chǎng)的變化

通常，它代表對(duì) MEMS器件最終目標(biāo)的寄生作用。MEMS中的第二個(gè)“M”代表機(jī)械，這是出了名的容易受到來(lái)自各種路徑的漂移考慮的影響。這包括封裝基礎(chǔ)和信號(hào)轉(zhuǎn)導(dǎo)所需材料的不匹配。

封裝在 MEMS開(kāi)發(fā)工作中通常沒(méi)有得到應(yīng)有的重視。這通常會(huì)導(dǎo)致技術(shù)開(kāi)發(fā)過(guò)程失敗，包括那些具有成功基礎(chǔ)傳感器或執(zhí)行器的過(guò)程。在可預(yù)見(jiàn)的未來(lái)，對(duì)尺寸和溫度范圍規(guī)范的不斷推動(dòng)將繼續(xù)提高 MEMS的封裝復(fù)雜程度。

例如，在時(shí)鐘領(lǐng)域，這是一個(gè)非常重要的考慮因素，是供應(yīng)商驅(qū)動(dòng)的主要規(guī)范。穩(wěn)定性會(huì)受到許多因素的影響，這些因素可以創(chuàng)建一個(gè)復(fù)雜的可能性矩陣，人們需要了解這些可能性，才能獲得產(chǎn)品成功。

航位推算位置精度對(duì)于手機(jī)、產(chǎn)品交付和一些開(kāi)發(fā)公司來(lái)說(shuō)是一種令人興奮的可能性。這受到提高準(zhǔn)確性和信號(hào)強(qiáng)度的愿望的影響，例如，在沒(méi)有足夠 GPS覆蓋的倉(cāng)庫(kù)或建筑物中。這將導(dǎo)致我們?cè)谏鐣?huì)中采購(gòu)商品和服務(wù)的方式發(fā)生重大變化。

具有仿生能力的傳感器系統(tǒng)在萬(wàn)物互聯(lián)中提供化學(xué)和/或物理傳感網(wǎng)格似乎是另一種可能性。今天，我們擁有需要通過(guò) Internet進(jìn)行遠(yuǎn)程系統(tǒng)診斷的設(shè)備的 IP地址。

新時(shí)代RF MEMS開(kāi)關(guān)的用途和問(wèn)題

在低功率和高功率 RF之間切換的能力是軟件可定義無(wú)線電以及 RF天線適配等方向的重要功能。RF-MEMS的機(jī)會(huì)提供了進(jìn)行此類(lèi)切換的能力，同時(shí)顯著提高了效率和外形尺寸。這種類(lèi)型的開(kāi)關(guān)可以通過(guò)接觸式 MEMS設(shè)備來(lái)完成，這些 MEMS設(shè)備可以形成和斷開(kāi)成排的機(jī)械接觸。

這里出現(xiàn)的復(fù)雜情況之一是，雖然被切換的 RF功率量很小，但它所處理的是最終具有納米級(jí)接觸尺寸的東西。因此，很容易產(chǎn)生熔斷開(kāi)關(guān)關(guān)閉的熔接效應(yīng)。這最終是一個(gè)材料問(wèn)題，系統(tǒng)解決方案可能會(huì)幫助它保持電源切換，直到出現(xiàn)已知良好的機(jī)械接觸。

MEMS/NEMS的新興趨勢(shì)和新機(jī)遇（例如，量子、物聯(lián)網(wǎng)、非線性動(dòng)力學(xué)、人工智能和機(jī)器人等）

這里的機(jī)會(huì)是巨大的！利用標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體制造能力來(lái)進(jìn)一步降低 MEMS的維度，可以提高性能，并有望開(kāi)辟新的影響領(lǐng)域。

今天，我們處于量子計(jì)算時(shí)代，尋找量子交換能力的能力將成為未來(lái)幾年從學(xué)術(shù)界到初創(chuàng)企業(yè)的熱門(mén)話題。物聯(lián)網(wǎng) (IoT)范式還將推動(dòng)傳感器和傳感器系統(tǒng)的重大創(chuàng)新，以及它們?nèi)绾吻短自谝黄鹨蕴峁┘w簽名。利用 MEMS中的非線性轉(zhuǎn)換將提高設(shè)備的靈敏度，否則將不存在。所有這些都將為快速增長(zhǎng)的機(jī)器人和人工智能需求提供許多可能性。

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