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基于MEMS熱電堆紅外傳感器的紅外探測(cè)系統(tǒng)

MEMS ? 來(lái)源:《傳感器與微系統(tǒng)》 ? 2020-09-13 10:01 ? 次閱讀
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摘要:為了實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離紅外目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)和靜止?fàn)顟B(tài)的識(shí)別,設(shè)計(jì)了基于熱電堆紅外傳感器的紅外探測(cè)系統(tǒng),系統(tǒng)包括梯析(GRIN)透鏡、微系統(tǒng)(MEMS)熱電堆傳感器、信號(hào)調(diào)理電路、數(shù)據(jù)采集電路和識(shí)別算法。探測(cè)結(jié)果表明:在相同光路系統(tǒng)的情況下,探測(cè)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了比熱釋電系統(tǒng)更遠(yuǎn)的探測(cè)距離,實(shí)現(xiàn)了動(dòng)態(tài)目標(biāo)和靜態(tài)目標(biāo)的識(shí)別,并基于探測(cè)目標(biāo)溫度、輻射面積的區(qū)別,實(shí)現(xiàn)了人、車輛和其他紅外目標(biāo)的分類識(shí)別,可為紅外目標(biāo)的探測(cè)識(shí)別提供一種新的解決方案。

0引言

紅外探測(cè)技術(shù)憑借其環(huán)境適應(yīng)性好、隱蔽性好、體積小等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于紅外偵查、防盜報(bào)警等領(lǐng)域。目前常用的紅外探測(cè)技術(shù)主要有基于運(yùn)動(dòng)特征的方法、基于形狀信息的方法、基于人體模型的方法等,采用紅外成像設(shè)備系統(tǒng)是非常昂貴且計(jì)算復(fù)雜度高; 然而紅外目標(biāo)的入侵識(shí)別應(yīng)用往往不需要由圖像設(shè)備提供高分辨率,利用紅外傳感器對(duì)目標(biāo)輻射特征識(shí)別來(lái)代替視頻追蹤,作為價(jià)格昂貴的熱成像紅外設(shè)備的替代品是可行的。

現(xiàn)有的紅外探測(cè)系統(tǒng)大多是基于熱釋電紅外傳感器的運(yùn)動(dòng)特征識(shí)別,其探測(cè)系統(tǒng)只能實(shí)現(xiàn)紅外目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)入侵識(shí)別,應(yīng)用領(lǐng)域受到很大局限。

為了實(shí)現(xiàn)紅外目標(biāo)入侵探測(cè)和靜態(tài)識(shí)別,本文設(shè)計(jì)了一種基于微系統(tǒng)(MEMS)熱電堆紅外傳感器的紅外探測(cè)系統(tǒng),采用梯析(GRIN)透鏡會(huì)聚目標(biāo)輻射以提高有效探測(cè)距離,利用熱電堆傳感器探測(cè)目標(biāo)紅外輻射,對(duì)探測(cè)器信號(hào)進(jìn)行小波分解和重構(gòu),濾除背景輻射帶來(lái)的基線漂移,通過(guò)多閾值設(shè)定實(shí)現(xiàn)目標(biāo)的分類識(shí)別。

1熱電堆紅外探測(cè)器工作原理

熱電堆探測(cè)器是一種可以對(duì)外界紅外輻射產(chǎn)生響應(yīng)的傳感器,近10年來(lái),由于微細(xì)加工技術(shù)的發(fā)展進(jìn)步,MEMS熱電堆紅外傳感器也取得了飛速發(fā)展。

熱電堆探測(cè)器采用賽貝克效應(yīng)(Seebeck effect)設(shè)計(jì)制作,如果兩種不同的材料或者材料相同而逸出功不同的物體A和B,在熱結(jié)相連,而在冷端區(qū)開(kāi)路,熱結(jié)和冷結(jié)存在一定的溫差ΔTHC,則在冷端的兩端就會(huì)產(chǎn)生一開(kāi)路溫差電動(dòng)勢(shì)Vout,賽貝克效應(yīng)的數(shù)學(xué)公式可表述為

式中SAB為物體A和物體B之間賽貝克系數(shù)差,VK -1。對(duì)于半導(dǎo)體材料,產(chǎn)生賽貝克效應(yīng)的主要原因是熱端的載流子往冷端擴(kuò)散的結(jié)果。

一般而言,微機(jī)械熱電堆紅外探測(cè)器主要由紅外吸收體,絕緣結(jié)構(gòu)和熱電堆組成(圖1),熱結(jié)區(qū)與紅外吸收體相鄰,其溫度隨紅外吸收體變化而變化,冷結(jié)區(qū)與熱結(jié)區(qū)通過(guò)絕緣結(jié)構(gòu)隔離,其溫度與環(huán)境溫度保持一致。當(dāng)紅外吸收體吸收外界輻射時(shí),熱結(jié)區(qū)溫度升高,而冷結(jié)區(qū)溫度不變,導(dǎo)致熱結(jié)與冷結(jié)溫差增大,通過(guò)賽貝克效應(yīng),熱電偶材料將溫差轉(zhuǎn)換為電壓,故可以通過(guò)熱電堆兩端的輸出電壓測(cè)量外界紅外輻射的大小。

圖1 MEMS熱電堆紅外探測(cè)器組成結(jié)構(gòu)

2光學(xué)系統(tǒng)

紅外輻射能量在大氣中傳輸會(huì)存在衰減,GRIN透鏡是一種非均勻介質(zhì)透鏡,用來(lái)配合熱電堆傳感器以提高接收靈敏度及擴(kuò)大探測(cè)距離和范圍。

GRIN透鏡的參數(shù)如下:型號(hào)為GERMANIUM;焦距為41.2 mm;入瞳直徑為21.035 mm;探測(cè)角度為4°;厚度為2.55 mm。

透鏡將紅外熱量投射到熱電堆敏感單元,熱電堆敏感單元的面積只有0.1mm2,經(jīng)過(guò)透鏡能夠投射到元件圓形范圍內(nèi)的現(xiàn)場(chǎng)景物也就局限在一個(gè)錐形空間里,即熱電堆探測(cè)器只能“看”到這個(gè)錐形空間內(nèi)的熱能景物,將這個(gè)錐形敏感空間稱為熱電堆探測(cè)器的視場(chǎng),Zemax仿真結(jié)果如圖2所示。

圖2 GRIN透鏡的視場(chǎng)仿真

3信號(hào)調(diào)理電路

設(shè)計(jì)信號(hào)調(diào)理電路是為了在充分抑制噪聲的前提下,實(shí)現(xiàn)紅外信號(hào)的有效放大,同時(shí)保證最小的失真,電路設(shè)計(jì)的好壞對(duì)探測(cè)器性能的發(fā)揮起著關(guān)鍵性作用。設(shè)計(jì)一個(gè)放大調(diào)理電路,首先需要對(duì)輸出信號(hào)進(jìn)行分析,常用比探測(cè)率D* 描述探測(cè)器的綜合性能,定義為

式中NEP為噪聲功率密度,S和N為探測(cè)器的信號(hào)電壓和噪聲電壓,PD為探測(cè)器靶面接收的輻射功率密度,A為探測(cè)器靶面面積,Δf為放大器帶寬(它影響著系統(tǒng)中的噪聲)。D*為一個(gè)綜合反映探測(cè)信號(hào)、噪聲及帶寬的指標(biāo),D*越大,探測(cè)器性能越好。傳感器的關(guān)鍵參數(shù):噪聲等效功率NEP為;比探測(cè)率(D*)為1.5 × 108cm;響應(yīng)度R為182 V/W;時(shí)間常數(shù)Τ為15 ms;輸出電阻RS為100 kΩ。

首先確定輸出信號(hào)的帶寬,熱電堆探測(cè)器輸出信號(hào)的數(shù)學(xué)形式為

式中Vt為一定輻照度下探測(cè)器的瞬時(shí)輸出電壓,Vmax為一定輻照度下的探測(cè)器穩(wěn)態(tài)響應(yīng)電壓,τ為時(shí)間常數(shù)。對(duì)式(3)進(jìn)行傅里葉變換并取值衰減至10%處為信號(hào)帶寬,得到探測(cè)器輸出信號(hào)帶寬為11 Hz。

其次需要確定探測(cè)器本地的噪聲,即噪聲等效電壓。根據(jù)探測(cè)器的噪聲等效功率為和響應(yīng)度182 V/W,得到噪聲等效電壓為

當(dāng)明確了放大信號(hào)的基本特征后,方可進(jìn)行電路設(shè)計(jì),為了滿足上述信號(hào)放大,選用運(yùn)放AD8629作為前置放大器,電路實(shí)現(xiàn)框圖如圖3所示,前置放大電路用以對(duì)信號(hào)低噪聲放大,低通濾波器用以限制噪聲帶寬并進(jìn)行模/數(shù)轉(zhuǎn)換之前的抗混疊濾波,后級(jí)放大用以對(duì)信號(hào)進(jìn)行二級(jí)放大,從而有效利用模/數(shù)轉(zhuǎn)換的滿量程。

圖3 信號(hào)調(diào)理電路框圖

由于熱電堆傳感器信號(hào)微弱且內(nèi)阻很大,同相比例運(yùn)算電路具有較高的輸入阻抗和很低的輸出阻抗,增益不受信號(hào)源內(nèi)阻的影響,不僅能夠?qū)崿F(xiàn)傳感器的阻抗匹配,且可以實(shí)現(xiàn)傳感器微弱信號(hào)的拾取。熱電堆傳感器輸出信號(hào)受環(huán)境溫度影響,導(dǎo)致偏置電壓,影響目標(biāo)的識(shí)別,采用熱電阻作為補(bǔ)償單元,消除環(huán)境溫度帶來(lái)的影響。

模擬低通濾波器的主要作用在于對(duì)高斯分布的廣譜噪聲進(jìn)行限帶濾波,為后級(jí)的模/數(shù)轉(zhuǎn)換提供抗混疊濾波,為了盡可能減小信號(hào)失真,需要濾波器衰減陡度較大,所以采用二階低通濾波器,截止頻率設(shè)置為15.9 Hz。在濾波后,為了充分利用后級(jí)模/數(shù)轉(zhuǎn)換器的滿量程,需要進(jìn)行二級(jí)放大,電路總的放大倍數(shù)為41 × 201 = 8241倍,熱電堆信號(hào)由幾個(gè)微伏量級(jí)信號(hào)被放大到幾十毫伏量級(jí)。

圖4 前置放大電路

4信號(hào)采集和識(shí)別算法

信號(hào)采集電路實(shí)現(xiàn)框圖如圖5所示。

圖5 信號(hào)采集實(shí)現(xiàn)框圖

通過(guò)熱電堆探測(cè)系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)紅外目標(biāo)的波形采集,如圖6所示。

圖6 運(yùn)動(dòng)和靜止信號(hào)

觀察發(fā)現(xiàn),目標(biāo)進(jìn)入探測(cè)區(qū)域,會(huì)產(chǎn)生一定頻率的上升沿,目標(biāo)如果一直存在于視場(chǎng)中,輸出會(huì)一直保持在高電平,當(dāng)目標(biāo)離開(kāi)探測(cè)區(qū)域時(shí),會(huì)有一個(gè)一定頻率的下降沿。理想情況下,傳感器探測(cè)目標(biāo)的輸出應(yīng)該是一個(gè)矩形信號(hào),但是由于背景干擾的影響,傳感器的輸出存在基線漂移的干擾,如果直接采用閾值識(shí)別方法,將會(huì)產(chǎn)生很多由于基線漂移帶來(lái)的誤報(bào),影響探測(cè)系統(tǒng)的有效識(shí)別距離。

針對(duì)基線漂移的特性,提出了小波分解與重構(gòu)的處理方法,將探測(cè)器信號(hào)x(t)分解成若干本征模函數(shù)(intrinsicmode function,IMF)分量,信號(hào)x(t)可以表示成

若IMF分量不包含基線漂移的信息,則其均值應(yīng)該為0,對(duì)含有基線成分的IMF 進(jìn)行小波分解,將頻率范圍只覆蓋基線頻率的小波細(xì)節(jié)置零,然后小波重構(gòu)獲得新的IMF分量,最后進(jìn)行信號(hào)重構(gòu)就得到消除基線漂移的探測(cè)器信號(hào)。根據(jù)IMF分量的性質(zhì),若IMFi不包含基線信息,則其均值應(yīng)該為0,即應(yīng)該滿足下式

結(jié)果如圖7所示,線漂移基本上被濾除,通過(guò)識(shí)別算法可以實(shí)現(xiàn)目標(biāo)運(yùn)動(dòng)和靜止識(shí)別,識(shí)別算法如圖8所示,識(shí)別結(jié)果如圖7矩形波所示。

圖7 小波處理結(jié)果與識(shí)別結(jié)果

圖8 識(shí)別算法框圖

5系統(tǒng)測(cè)試結(jié)果分析

對(duì)探測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行室外測(cè)試實(shí)驗(yàn),探測(cè)器與目標(biāo)距離設(shè)置為10、20、30、40、50、60 m等,探測(cè)方向與目標(biāo)運(yùn)動(dòng)方向垂直,人體目標(biāo)速度保持在1 m/s,車輛速度保持在10 m/s,為了驗(yàn)證系統(tǒng)的普適性,本文選擇了不同的車輛和人員來(lái)采集信息,在每一個(gè)距離點(diǎn)上各取100組實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),取其平均值為信號(hào)峰值電壓。

從表1中可以看出:同一距離,人員和車輛的峰值電壓區(qū)別很大,探測(cè)系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)人體目標(biāo)40 m距離的無(wú)誤報(bào)探測(cè),車輛目標(biāo)的70 m無(wú)誤報(bào)探測(cè),且基于車輛和人體峰值電壓的區(qū)別來(lái)進(jìn)行分類識(shí)別是可行的。

表1探測(cè)器系統(tǒng)測(cè)試結(jié)果

6結(jié)論

基于MEMS熱電堆紅外傳感器的紅外探測(cè)系統(tǒng),采用GRIN透鏡會(huì)聚目標(biāo)輻射以提高有效探測(cè)距離,利用熱電堆紅外傳感器探測(cè)目標(biāo)紅外輻射,不僅實(shí)現(xiàn)獲取探測(cè)區(qū)域目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)入侵探測(cè),且能夠?qū)崿F(xiàn)探測(cè)區(qū)域內(nèi)目標(biāo)的靜態(tài)識(shí)別。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明: 該探測(cè)系統(tǒng)在野外測(cè)試條件下,人體目標(biāo)可以實(shí)現(xiàn)40 m遠(yuǎn)距離探測(cè),車輛可以實(shí)現(xiàn)70 m探測(cè),為軍事預(yù)警防御、智能小區(qū)監(jiān)測(cè)等場(chǎng)所的人體以及車輛識(shí)別提供了一種低成本、遠(yuǎn)距離探測(cè)的方案。

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原文標(biāo)題:MEMS熱電堆傳感器的紅外探測(cè)系統(tǒng)

文章出處:【微信號(hào):MEMSensor,微信公眾號(hào):MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

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    人體紅外感應(yīng)模塊使用的是熱釋電紅外傳感器,它是利用溫度變化的特征來(lái)探測(cè)紅外線的輻射,利用雙靈敏元互補(bǔ)的方法抑制溫度變化產(chǎn)生的干擾,提高了傳感器
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    CW32模塊使用 人體<b class='flag-5'>紅外傳感器</b>

    紅外傳感器的工作原理及應(yīng)用

    。 1. 紅外輻射的發(fā)射 物體的溫度越高,發(fā)射的紅外輻射強(qiáng)度越大。這種輻射與物體的絕對(duì)溫度的四次方成正比,這一關(guān)系被稱為斯特藩-玻爾茲曼定律。 2. 紅外輻射的檢測(cè) 紅外傳感器通常包含
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    紅外熱電傳感器在什么領(lǐng)域用得多

    在現(xiàn)代科技領(lǐng)域,傳感器作為信息獲取的重要工具,其種類繁多,功能各異。其中,紅外熱電傳感器以其獨(dú)特的非接觸式測(cè)量、高精度、快速響應(yīng)等特點(diǎn),在
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