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大多數(shù)二氧化氮(NO2)檢測(cè)裝置都是僅適用于實(shí)驗(yàn)室

lhl545545 ? 來(lái)源:MEMS ? 作者:MEMS ? 2020-06-09 16:56 ? 次閱讀
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據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,來(lái)自沙特阿拉伯阿卜杜拉國(guó)王科技大學(xué)(King Abdullah University of Science and Technology, KAUST)的研究人員開發(fā)了一款電子傳感器,當(dāng)有毒的工業(yè)和汽車廢氣超出安全水平時(shí)就會(huì)發(fā)出警報(bào)。

現(xiàn)有的大多數(shù)二氧化氮(NO2)檢測(cè)裝置都是僅適用于實(shí)驗(yàn)室的機(jī)器,體積龐大,操作復(fù)雜,這款緊湊的新型裝置旨在構(gòu)成空氣質(zhì)量傳感器分布網(wǎng)絡(luò)的一部分,用來(lái)檢測(cè)與空氣污染相關(guān)的危害氣體。在Khaled Salama實(shí)驗(yàn)室領(lǐng)導(dǎo)該項(xiàng)研究的博士生Mani Vijjapu指出,“我們的傳感器對(duì)二氧化氮表現(xiàn)出很高的靈敏度和選擇性,它可以在室溫下工作且功耗非常低。”

與此前的設(shè)計(jì)相比,該裝置的最大優(yōu)勢(shì)在于氣體檢測(cè)器將所有必要的傳感和信號(hào)處理組件集成在全集成的簡(jiǎn)單系統(tǒng)中。Vijjapu表示,盡管它很簡(jiǎn)單,但是裝置的輸出信號(hào)會(huì)隨著二氧化氮濃度的變化而變化。

緊湊型KAUST傳感器的核心元件是一個(gè)二氧化氮傳感薄膜晶體管。氧化銦鎵鋅(indium gallium zinc oxide, IGZO)薄膜既可以作為器件的電子組件,也可以作為二氧化氮檢測(cè)層。

二氧化氮傳感薄膜晶體管的制備

二氧化氮分子被位于晶體管表面的電子所吸引。因此,隨著附著在氧化銦鎵鋅膜上的二氧化氮分子數(shù)量的增加,更多的電子從薄膜表面消失,從而轉(zhuǎn)換電流輸出并觸發(fā)二氧化氮檢測(cè)警報(bào)。

收到通知后,氧化銦鎵鋅層隨后被來(lái)自集成藍(lán)色發(fā)光二極管(light emitting diode, LED)的光恢復(fù),該發(fā)光二極管在氧化銦鎵鋅層薄膜上產(chǎn)生帶負(fù)電的電子和帶正電荷的空穴,以中和吸收的二氧化氮,從而將其從薄膜表面釋放出來(lái)并重置傳感器。

空氣中的二氧化氮分子(紅色和藍(lán)色球體)被傳感器表面的電子(黑色球體)所吸引,觸發(fā)檢測(cè)事件(左圖)。光使傳感器恢復(fù)(右圖),并產(chǎn)生帶電粒子以中和、釋放被吸附的二氧化氮。

測(cè)試裝置示意圖

KAUST的研究團(tuán)隊(duì)?wèi)汛еㄟ^(guò)在整個(gè)大都市地區(qū)部署這種緊湊型傳感器進(jìn)而改善空氣質(zhì)量的希望,他們打算將研究轉(zhuǎn)化為原型。該項(xiàng)研究成果的詳細(xì)報(bào)道見于《ACS Sensors》雜志。
責(zé)任編輯:pj

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